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Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

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66 3. Der experimentelle Aufbau<br />

Abbildung 3.19: AES–Spektrum <strong>einer</strong> belegten Si–Oberfläche Das Spektrum wurde<br />

nach einem Pumpenausfall aufgenommen. Man erkennt einen großen Kohlenstoffpeak<br />

und Beiträge anderer Adsorbatteilchen.<br />

Abbildung 3.20: AES–Spektrum <strong>einer</strong> gut präparierten Si–Oberfläche Der Si–Peak<br />

tritt deutlich im Bereich um 90eV aus dem Spektrum hervor, während die Peaks der<br />

Adsorbatteilchen verschwunden sind. Zur Präparation <strong>einer</strong> solchen Oberfläche sind<br />

i.a. mehrere Reinigungszyklen notwendig.

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