Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

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134 7. Simulation der Kristallschädigung Folglich kann man in einer groben Näherung annehmen, daß der ursprüngliche Ladungszustand der Ionen bei binären Kollisionen im Innern des Festkörpers keine entscheidende Rolle mehr spielt. Die TRIM–Simulationen eignen sich somit für eine Approximation der aus Ion–Targetatomstößen resultierenden Kristallschädigung 1 . Als Konsequenz aus den Stoßvorgängen entstehen Gitterfehler, Einlagerungen von Fremdatomen, Ionisationsprozesse und Phononen. Im Rahmen der Simulationsrechnungen vergleichen wir speziell die von den Ionen ausgehenden Gitterfehler und Implantationseffekte in Abhängigkeit von ihrer kinetischen Energie. Unter Ausnutzung der in hohen Ladungszuständen gespeicherten potentiellen Energien, welche zum Teil schon vor der Oberfläche freigesetzt werden, wird sich ein sehr schonendes Verfahren zur Modifikation von Einkristalloberflächen aufzeigen lassen. 7.1.1 Programmbeschreibung Das für MSDOS–Systeme 2 geschriebene TRIM–Programm kann die Wechselwirkungen von einfach geladenen, mononuklearen Ionen mit aus bis zu drei Kristallschichten bestehenden, kristallinen Festköpern simulieren. Der Ionenstrahl wird über Atomsorte, Masse, Energie und Einfallswinkel spezifiziert. Zur Beschreibung jeder Kristallschicht steht eine Liste von Atomen und Verbindungen zur Verfügung, welche auch anteilig miteinander kombiniert werden können. Stöße zwischen Ionen und Targetatomen gehen über ein vollständig quantenmechanisch gerechnetes Verfahren in die Berechnungen ein. Dabei spüren die Stoßpartner bei den Kollisionen einerseits ein durch Leitungsbandelektronen abgeschirmtes Coulomb–Potential, andererseits führt der Überlapp der Elektronenwellenfunktionen zu Austausch– und Korrelationstermen. Mittels statistischer Mittelungsalgorithmen erreicht das Programm trotz dieser detaillierten Rechnungen eine hohe Geschwindigkeit. Vor dem Start der Rechnungen müssen dem Programm Informationen über intraatomare Bindungsverhältnisse und die kollektive elektronische Struk- 1 Genauer betrachtet muß die Anwendbarkeit des in TRIM implementierten ZBL– Potentials auf Stoßprozesse langsamer, hochgeladener Ionen und ≪hohler≫ Atome mit Targetatomrümpfen innerhalb des Festkörpers demonstriert werden. 2 TRIM ist ebenfalls unter DOS–Emulatoren von LINUX, UNIX und OS/2 ausführbar.
7.1. Der TRIM–Code 135 Abbildung 7.1: Schema der Gitterenergien Um ein Atom aus seiner Kristallposition herauszulösen ist eine minimale Anregungsenergie von Edisp erforderlich.
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Wechselwirkungen sehr langsamer hoc
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Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung 9 2
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INHALTSVERZEICHNIS 5 4.1.1 Programm
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INHALTSVERZEICHNIS 7 B.3 Reduktion
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Kapitel 1 Einleitung Die ersten Arb
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Kapitel 2 Fundamentale Wechselwirku
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2.2. Potentialverhältnisse 13 Ladu
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2.2. Potentialverhältnisse 15 2.2.
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2.2. Potentialverhältnisse 17 best
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2.2. Potentialverhältnisse 19 Abbi
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2.3. Zeitskalen 21 Abbildung 2.5: M
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2.4. Auger-Übergänge 23 größer
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2.4. Auger-Übergänge 25 Abbildung
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2.5. Elektronentransferprozesse 27
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2.6. Die Screening Dynamics 29 nen
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2.7. Strahlungsübergänge 31 10˚A
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2.8. Wechselwirkungen im Kristall 3
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2.8. Wechselwirkungen im Kristall 3
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Kapitel 3 Der experimentelle Aufbau
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3.1. Die EZR-Ionenquelle 39 Ringe a
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3.1. Die EZR-Ionenquelle 41 Die Gyr
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3.2. Das Strahltransportsystem 43 3
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3.2. Das Strahltransportsystem 45 A
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3.3. Die Abbremsoptik 47 Abbildung
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3.3. Die Abbremsoptik 49 Die letzte
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3.4. Das Auger-Elektronen-Spektrome
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3.4. Das Auger-Elektronen-Spektrome
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3.5. Das Ionenspektrometer 55 3.5 D
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3.5. Das Ionenspektrometer 57 Abbil
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3.5. Das Ionenspektrometer 59 Abbil
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3.5. Das Ionenspektrometer 61 dem S
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3.6. Targetpräparation 63 nur Adso
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3.7. Augerelektronenspektroskopie 6
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3.8. Die UHV-Kammer 67 Abb.3.19 und
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3.8. Die UHV-Kammer 69 Abbildung 3.
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3.8. Die UHV-Kammer 71 wa einen Tag
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3.9. Computeransteuerung und Meßwe
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3.9. Computeransteuerung und Meßwe
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Kapitel 4 Simulation der Autoionisa
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4.1. Der COWAN-Code 79 gurationen v
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4.2. Fehlerquellen 81 Die Raten Γ
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Seite 93 und 94: 5.2. Der MXY-Buckel 93 werden könn
Seite 95 und 96: 5.2. Der MXY-Buckel 95 gestreckten
Seite 97 und 98: 5.2. Der MXY-Buckel 97 so wächst d
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Seite 109 und 110: 5.5. Zusammenfassung und Schlußfol
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Seite 141 und 142: Kapitel 8 Zusammenfassung und Ausbl
Seite 143 und 144: Anhang A Atomare Einheiten • Län
Seite 145 und 146: Anhang B Ionenspektrometersimulatio
Seite 147 und 148: B.3. Reduktion der Dimension von Ai
Seite 153 und 154: Anhang C AUGER-Meßprogrammcode #in
Seite 155 und 156: scanf ("%d", &value); } while ((val
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Seite 159 und 160: mean = ctre[i] / runs; sigma = sqrt
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Seite 165 und 166: Literaturverzeichnis [1] R.P. Adam:
Seite 167 und 168: LITERATURVERZEICHNIS 167 [20] R. D
Seite 169 und 170: LITERATURVERZEICHNIS 169 [43] Chris
Seite 171: Erklärung Ich erkläre, daß ich d
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