xxiii Ïανελληνιο ÏÏ Î½ÎµÎ´Ïιο ÏÏ ÏÎ¹ÎºÎ·Ï ÏÏεÏÎµÎ±Ï ÎºÎ±ÏαÏÏαÏÎ·Ï & εÏιÏÏÎ·Î¼Î·Ï ...
xxiii Ïανελληνιο ÏÏ Î½ÎµÎ´Ïιο ÏÏ ÏÎ¹ÎºÎ·Ï ÏÏεÏÎµÎ±Ï ÎºÎ±ÏαÏÏαÏÎ·Ï & εÏιÏÏÎ·Î¼Î·Ï ...
xxiii Ïανελληνιο ÏÏ Î½ÎµÎ´Ïιο ÏÏ ÏÎ¹ÎºÎ·Ï ÏÏεÏÎµÎ±Ï ÎºÎ±ÏαÏÏαÏÎ·Ï & εÏιÏÏÎ·Î¼Î·Ï ...
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Σχήµα 1. Εικόνες περίθλασης<br />
ηλεκτρονίων από τα υµένια n01 και n02 (a)<br />
(b) αντιστοίχως. Με τα βέλη δηλώνονται οι<br />
θέσεις των αντίστοιχων ανακλάσεων του<br />
Si. Η χαρακτηριστική παρουσία διακριτών<br />
κηλίδων και στις δύο εικόνες υποδεικνύει<br />
την ανάπτυξη κρυσταλλιτών και στα δύο<br />
υµένια.<br />
4<br />
Σχήµα 2. Εικόνες planar view από τα υµένια n01 έως n06 (a) έως (f) αντίστοιχα, από τις οποίες είναι δυνατή η εκτίµηση των<br />
διαστάσεων των κρυσταλλιτών.<br />
Σχήµα 3. Καµπύλες κατανοµής του<br />
µεγέθους των κρυσταλλιτών. Αν και<br />
µπορεί να υποδειχθεί µια<br />
συστηµατική αύξηση στην µέγιστη<br />
παρατηρούµενη διάσταση µε το<br />
πάχος του δείγµατος, είναι φανερό<br />
ότι η µέση τους διάσταση δεν<br />
επηρεάζεται σηµαντικά.<br />
Σχήµα 4. Εικόνα εγκαρσίου τοµής<br />
υψηλής µεγέθυνσης από το υµένιο<br />
n06. Με τα βέλη υποδεικνύονται<br />
διακριτοί κρυσταλλίτες. Είναι<br />
χαρακτηριστική µια κατά στήλες<br />
ανάπτυξη των κρυσταλλιτών. Ενώ<br />
διατηρούνται οι αρχικές διαστάσεις<br />
στο επίπεδο του υποστρώµατος, όπως<br />
εκτιµάται και από τις εικόνες planar<br />
view των υµενίων, το µέγεθός των<br />
αυξάνει µόνον κατά την διεύθυνση<br />
εναπόθεσης.<br />
33