23.11.2014 Views

xxiii πανελληνιο συνεδριο φυσικης στερεας καταστασης & επιστημης ...

xxiii πανελληνιο συνεδριο φυσικης στερεας καταστασης & επιστημης ...

xxiii πανελληνιο συνεδριο φυσικης στερεας καταστασης & επιστημης ...

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

Σχήμα 1: Πειραματική διάταξη που χρησιμοποιείται<br />

στην SXRF. Διακρίνονται οι τροχιές της πρωτογενούς<br />

και δευτερογενούς ακτινοβολίας Χ. Το υπόβαθρο<br />

μειώνεται εξ αιτίας της απορρόφησης της συνεχούς<br />

ακτινοβολίας στην άνοδο.<br />

Σχήμα 2: Πειραματικές τιμές του πηλίκου του σήματος<br />

προς το υπόβαθρό του (S/B) στην περίπτωση της SXRF<br />

για σύστημα AL / Au και για διαφορετικά πάχη<br />

υμενίων σαν συνάρτηση της γωνίας ανίχνευσης θ.<br />

Σχήμα 3: Η διακριτική ικανότητα της τεχνικής για<br />

διάφορα συστήματα σαν συνάρτηση του ατομικού<br />

αριθμού της ανόδου (προσομοιώσεις Monte Carlo). Η<br />

ενέργεια της ηλεκτρονικής δέσμης είναι 30 keV και το<br />

πάχος των υμενίων είναι 200 nm.<br />

Σχήμα 4: Γραμμική σάρωση του σήματος των ακτίνων<br />

Χ στην περίπτωση της SXRF για σύστημα Al / Au.<br />

Υπάρχει μορφοποίηση με γραμμές Al πάχους 10 μm<br />

και κενά πάχους 10 μm στο πίσω μέρος της ανόδου. Το<br />

πάχος των γραμμών του Al είναι 200 nm.<br />

58

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!