xxiii πανελληνιο ÏƒÏ Î½ÎµÎ´ÏÎ¹Î¿ Ï†Ï ÏƒÎ¹ÎºÎ·Ï‚ στερεας καταστασης & επιστημης ...

Line Edge Roughness (3 sigma) (nm)
13
12
11
10
9
8
7
6
5
4
10 20 30 40 50 60 70
Mean Polymer Length (monomers)
DF = 0.8
DF = 1.0
Σχήμα 1 : Συνοπτική παρουσίαση των βημάτων της
προσομοίωσης.
Σχήμα 2 : Μείωση του μηκους πολυμερισμού, γραμμικών
ομοπολυμερών, συνεπάγεται μείωση του παραγώμενου LER
(3σ). Αποτελέσματα από συμβατική ρητίνη.
Line Edge Roughness (3 sigma) (nm)
20
19
18
17
16
15
14
13
L=30
L=50
LER (3sigma, nm)
10
9
8
7
6
5
4
3
2
Deprotection fraction, DF=0.8
C PAG
=10%
With Acid Diffusion
Linear chains, L=5, 1nm/monomer
Grafted chains, L=5, 1nm/monomer
Molecular resist, M21, 1nm Rg
Linear chains, L=5, 0.6nm/monomer
Grafted chains, L=5, 0.6nm/monomer
12
2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
PAG Concentration (%)
10 100 1000
Edge Length (nm)
Σχήμα 3 : Αύξηση της συγκέντρωσης του PAG συνεπάγεται
μείωση του LER για σταθερό DF εντός της περιοχής έκθεσης.
Σχήμα 4 : Σύγκριση του παραγώμενου LER μεταξύ
ομοπολυμερών (γραμμικών και διακλαδισμένων) με τα
μοριακά υλικά. Ρητίνες χημικής ενίσχυσης, 10% PAG
54