xxiii πανελληνιο ÏƒÏ Î½ÎµÎ´ÏÎ¹Î¿ Ï†Ï ÏƒÎ¹ÎºÎ·Ï‚ στερεας καταστασης & επιστημης ...

Οι δομές που αναπτύχθηκαν προορίζονται για ανάπτυξη φωτονικών κρυστάλλων με χάσμα στην περιοχή του εγγύς
υπέρυθρου, καθώς και ως μήτρες για την ανάπτυξη μεταλλικών νημάτων υπομικρονικών διαστάσεων. Ειδικά η τελευταία
εφαρμογή έχει μελετηθεί διεξοδικά και έχουν παρασκευαστεί νήματα χαλκού διαμέτρου 5μm και μήκους 100μm στο
εσωτερικό δισκιδίων πυριτίου (σχήμα 7).
Al 2O 3
A)
Si
Si
B)
Al 2O 3
Si
Κάτοψη Πορώδους
Αλουμίνας
C)
Si
Si
Κάτοψη Μακροπόρων
σε Επιλεγμένη Περιοχή
Σχήμα 1. Αναπαράσταση των βημάτων της πειραματικής διεργασίας. Α) Πορώδης αλουμίνα σχηματίζεται ηλεκτροχημικά σε
υπόστρωμα πυριτίου και Β) λειτουργεί ως μάσκα για τη σχηματοποίηση της επιφάνειας του υποστρώματος. C) Με ηλεκτροχημική
διάλυση αναπτύσσονται εξαγωνικά διατεταγμένοι μακροπόροι.
Σχήμα 6. Διατομή μακροπορώδους
πυριτίου παρασκευασμένου μέσω
μάσκας πορώδους αλουμίνας.
Σχήμα 2. Επιφάνεια μακροπορώδους
πυριτίου χωρίς διάταξη
Σχήμα 4. Μικρογραφία επιφάνειας
πορώδους αλουμίνας.
Σχήμα 3. Μακροπορώδες πυρίτιο με
διάταξη
Σχήμα 5. Μακροπορώδες πυρίτιο με
εξαγωνική διάταξη παρασκευασμένο
μέσω μάσκας πορώδους αλουμίνας
Αναφορές
[1] M. Kokonou, A. G. Nassiopoulou and K. P. Giannakopoulos, Nanotechnology 16, 103 (2005)
[2] D. N. Pagonis and A.G. Nassiopoulou, Physica Status Solidi (a) 204, 5, p.1335-1339 (2007)
[3] D. N. Pagonis and A. G. Nassiopoulou, Microelectronic Engineering vol. 83 (2006), pp. 1421–1425
Σχήμα 7. Νήματα χαλκού σε μήτρα
μακροπορώδους πυριτίου
37