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stefan m. gergely

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Siliziumnitrid<br />

1. Schicht aus<br />

Siliziumdioxid polykristallinem Silizium<br />

~7<br />

Silizium (p-Typ) 2. Schicht aus<br />

polykristallihem Silizium<br />

Oxidschicht (Isolator)<br />

Aluminium<br />

Abb. 30 Produktion eines Metalloxid-Halbleiters<br />

82<br />

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