Airl RA05 V3 55598 .2

2005 un premier produit abrasif à
l’échelle… de l’atome. Ce savant
mélange est utilisé pour les opérations
de nettoyage des plaques de silicium
entre les différentes étapes de fabrication
des semi-conducteurs. La surface
doit rester parfaitement plane, aucun
atome ne doit dépasser ! Ce nettoyant
très haut de gamme qui appartient à la
famille des “post CMP cleans”, fait
l’objet d’un dépôt de brevet. Il est issu
du laboratoire de recherche d’Air Liquide
à Dallas, au Texas. D’autres produits de
ce type sont en cours de développement
en partenariat avec des
équipementiers afin de proposer de
nouvelles solutions adaptées aux
métaux “nobles” des puces de future
génération.
Service : 800 personnes
Air Liquide dans les fabs
Le Groupe ne se contente pas de
proposer des produits très sophistiqués,
il pousse toujours plus loin la notion de
service pour assurer la gestion complète
(TGCM* et TGM*) de la mise en œuvre
des fluides ultrapurs au sein des fabs,
y compris les aspects d’expertise analytique.
Il s’appuie pour cela sur des outils
de pointe comme le système d’information
FabNet et sur des équipes
totalement intégrées à celles du client,
soit environ 800 personnes dans une
dizaine de pays, plus du tiers des effectifs
de l’activité Électronique.
Innovation
Nouvelles molécules : l’union fait la force
Pour développer les nouvelles molécules nécessaires à la fabrication de puces
toujours plus intégrées, Air Liquide travaille en partenariat avec des équipementiers
électroniques. En effet, le client final, le fabricant de puces, ne choisit pas telle ou
telle molécule pour améliorer sa “recette” de fabrication mais il opte pour un
procédé global. C’est-à-dire pour une solution qui inclut la “recette” (les ingrédients
chimiques et leurs conditions d’utilisation) et un équipement adapté. Ces deux
composantes sont interdépendantes, d’où le partenariat nécessaire entre Air Liquide,
qui conçoit et teste de nouvelles molécules, et les équipementiers, maîtres d’œuvre
du procédé final. Air Liquide collabore avec plusieurs grands équipementiers,
localisés pour la plupart dans la Silicon Valley, en Californie, et au Japon. L’une de
ces collaborations,
avec Aviza Technology,
a débouché sur la
commercialisation
d’un procédé appelé
SATIN, actuellement
en démonstration
pour des fabricants
de semi-conducteurs.
D’autres procédés
sont en phase de test
et devraient être lancés
prochainement sur le
marché.
Innovation
Un cheveu sur la distance Terre - Soleil
C’est un record mondial toutes catégories dans le domaine de l’analyse : les
équipes mondiales de Balazs, entité d’Air Liquide spécialisée dans les services
analytiques sont capables de déceler les impuretés critiques dans l’eau ultra-pure
avec un seuil de détection de l’ordre de 1 sur 1 million de milliards (ppq*). A titre
de comparaison, cela revient à identifier un cheveu sur la distance de la Terre au
Soleil ! L’atteinte d’un tel niveau de précision est liée à la miniaturisation de
l’électronique. Quand la taille d’un transistor d’une puce se compte en centaines
d’atomes, la plus infime impureté est fatale. Une micro-contamination peut coûter
des millions de dollars à une fab*. Les équipes de Balazs traquent ces impuretés
dans toutes les composantes de la fabrication, des liquides chimiques à l’air des
salles blanches en passant par les gants des opérateurs et les wafers* (plaques
de silicium) eux-mêmes. Elles aident aussi les clients à trouver des solutions pour
éliminer les sources de contamination. Implanté aux États-Unis et en Europe,
Balazs sert des clients dans le monde entier.
AIR LIQUIDE 49 Rapport annuel 2005
Développement
durable