(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

6.3. POMIARY SKŁADU PIERWIATKOWEGO - SIMSKolejną metodą badania powierzchni ciał stałych, a także ich składupierwiastkowego jest spektrometria mas jonów wtórnych (SIMS - Secondary Ion MasSpectrometry). Analiza materiału przy użyciu SIMS pozwala uzyskać informacjena temat związków chemicznych w badanej próbce (widmo masowe) oraz analizowaćzjawiska zachodzące na powierzchni materiału. Technika ta pozwala również uzyskaćinformacje o składzie warstw atomowych dzięki, zastosowaniu trawienia jonowego(analiza profilowa) [2,3].Podczas badania materiał umieszczony jest w próżni i zostaje poddany działaniuwiązki jonów. W wyniku wzajemnego oddziaływania jonów z atomami próbki, energiapadających jonów pierwotnych jest przekazywana atomom próbki, które mogątę powierzchnie opuścić w stanie obojętnym lub w postaci jonów wtórnych, grupatomów. Wybite jony są zbierane i analizowane przez spektrometr mas i docierajądo detektorów. W ten sposób uzyskuje się informacje o składzie analizowanegomateriału [3]. Zasadę działania i układ aparatury pomiarowej przedstawia rys. 6.3.1.Rysunek 6.3.1. Zasada działania spektrometru masowego SIMS [4].Jest to metoda silnie degradująca powierzchnię badanej próbki. Wynika toz zasady działania – wybijanie jonów z powierzchni próbki. Dzięki tej metodzie możnawykonać analizę zarówno molekularną, jak i elementarną pierwszej warstwy badanejstruktury oraz zawartości pierwiastków śladowych w głębszych warstwach. Za pomocąmetody SIMS możliwe jest wykrycie jonów złożonych z grupy atomów, oraz rejestracjaizotopów pierwiastków. Istotną cechą spektrometrii SIMS jest fakt, że emisja jonówwtórnych następuje wyłącznie z bombardowanej powierzchni, tak więc rejestrowanysygnał charakteryzuje skład powierzchni.153