10.07.2015 Views

(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

W dolnej części komory umieszczonych jest 6 komórek efuzyjnych. Każdaz nich składa się z podwójnego stalowego cylindra chłodzonego wodą i trzechwspółśrodkowych rur kwarcowych przełożonych cylindrami molibdenowej blachyumieszczonych wewnątrz tego cylindra. Na pierwszej od środka rurze kwarcowejnawinięty jest piecyk z drutu tantalowego. Piecyk jest tak skonstruowany,że temperatura jest nieco wyższa w górnej, końcowej części, a na pozostałej długościrozkład temperatury jest jednorodny. Wylot komórki efuzyjnej ma wyższą temperaturę,by zabezpieczyć go przed osadzaniem się na nim parującego materiału. Materiał doprocesów wzrostu lub napylania umieszczony jest w tyglach z węgla pirolitycznego(produkcji polskiej). Tygle mogą być łatwo wyjmowane, trawione chemiczniei wygrzewane w osobnej aparaturze w wysokich, rzędu ~ 1200 °C, temperaturachw ciśnieniu 10 -7 Tr. Komórki efuzyjne opatrzone są w przesłony, które poruszanesą umieszczonym w dnie komory głównej systemem elektromagnetycznym,uruchamianym z zewnątrz przy użyciu specjalnego urządzenia elektronicznego.Od wylotów prowadzących, do pompy dyfuzyjnej, komórki osłonięte są ekranemchłodzonym wodą. Do każdej komórki wprowadzone są dwie termopary Pt-PtRh (9%).Złącze jednej termopary jest umieszczone przy piecyku. <strong>Te</strong>rmopara ta jest połączona zelektronicznym regulatorem temperatury, który steruje prądem zasilającym piecykkomórki. Złącze drugiej termopary znajduje się przy dnie tygla, co pozwala dokładnieokreślić temperaturę parującego materiału.Dodatkowo jedna z komórek efuzyjnych została zmodyfikowana na potrzebęumieszczenia w niej uchwytu konstrukcji własnej z alundowym „koszykiem”, naktórym zamocowany został pojemnik na złoto, wykonany z tantalowej blachy.Do układu tego zostały doprowadzone przewody, które wyprowadzone są na zewnątrzkomory przez przepusty i podłączone do zasilacza, z którego podawany jest odpowiedniprąd. W ten sposób możemy rozgrzać tantalowy uchwyt, na którym leży złoto,aż do momentu, gdy zacznie ono parować i cząsteczki Au osadzą się na powstałejwcześniej monokrystalicznej lub amorficznej warstwie.Przewody zasilające piecyk i termopary są wyprowadzone na zewnątrz przezprzepusty w dalszej części komory. Znajduje się tam także wlot do kanału szybkiegoodpompowania pompą rotacyjną, połączenie z sondą próżniową Bayarda Alperta orazpołączenie z pompą jonowo-sorpcyjną. Po wstępnym odpompowaniu, komora głównamoże być w czasie pracy wygrzewana elektrycznie lub chłodzona wodą.82

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!