(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

Poszczególne elementy układu MBE są sterowane przez układy elektroniczne sprzężonez komputem, wyposażonym w programy kontrolujące i sterujące odpowiednie etapyprac. Układ RHEED oraz sondy jonizacyjne wchodzą w skład urządzeń służącychkontroli in-situ procesów w komorze MBE. Na układ dyfraktometru elektronówwysokiej energii składa się działo elektronowe, generujące wiązkę elektronów o energiirzędu 10 keV oraz ekran fluoroscencyjny, gdzie rejestrowany jest obraz dyfrakcyjnystatyczny i dynamiczny. Pozwala on charakteryzować strukturę powierzchni zarównopodłoża, jak i krystalizującej cienkiej warstwy. Natomiast sonda jonizacyjna służy dopomiaru ciśnienia gazu w strumieniach generowanych przez komórki efuzyjne.[2]Kontrola procesu epitaksjalnego może odbywać się również poprzez układy:elipsometryczny – kontrola grubości oraz wyznaczanie stałych dielektrycznychwyhodowanego materiału,reflektometrii laserowej – badanie prędkości wzrostu, zmian gładkościpowierzchni,pirometrii optycznej w podczerwieni – badanie prędkości wzrostu, zmiangładkości powierzchni w czasie,spektrometr do rentgenowskiej spektroskopii fotoelektronów (XPS – X-rayPhotoelectron Spectroscopy),spektrometr elektronów augerowskich (AES - Auger Electron Spectroscopy).Opis aparatury MBE do epitaksji wykorzystanej dohodowli i napylania cienkich warstw opisanych w pracyMaszyna MBE została zbudowana przez pracowników oddziału ON 1.1 podkierownictwem prof. A. Mycielskiego. Na główne elementy aparatury składają się: główna komora reakcyjna (wzrostu) – rys. 4.3,komórki efuzyjne rys. 4.7, (z grzejnikami i serią termopar) z przesłonami,układ pomp oraz wymrażarek azotowych do uzyskania wysokiej próżni, układ RHEED (rys. 4.5-4.6),wysuwany rękaw („holder”) z molibdenowym stolikiem (z grzejnikiem,układem termopar, mechanizmem obrotowy oraz przesłoną rys. 4.8),układy elektroniczne do zasilania pomp i komórek efuzyjnych, stabilizacjitemperatur holdera i komórek efuzyjnych, pomiarów próżni.81