(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

Komora reakcyjna dodatkowo opatrzona jest w panel, przez który przepływa bieżącawoda oraz wymrażarkę uzupełnianą ciekłym azotem. Elementy te także wpływają napoprawę jakości próżni w reaktorze MBE.Proces wzrostu warstw epitaksjalnych odbywa się pod kontrolądyfraktometru RHEED. Energia wiązki wysokoenergetycznych elektronów,emitowanych z działa elektronowego może być zmieniana w zakresie od 1 do 10 keV.Na ekranie fluoroscencyjnym można obserwować obrazy dyfrakcyjne w celu ustaleniajakości wzrastanej warstwy.5Rysunek 4.3. Zdjęcie aparatury MBE. 1)komora reakcyjna (wzrostu), 2) wymrażarkaazotowa, 3) rękaw ze stolikiem, 4) ekranfluoroscencyjny układu RHEED, 5) cześćkomory w której umieszczone są komórkiefuzyjne.Rysunek 4.4. Z prawej strony układ sterujący zszeregiem termoregulatorów do komórekefuzyjnych i stolika aparatury MBE.ABRysunek 4.5. Zdjęcie działa elektronowego układuRHEED.Rysunek 4.6. A) układ sterujący natężeniemwiązki wysokoenergetycznych elektronów(RHEED); B) układ kontroli (próżniomierzjonizacyjny) i pomiaru próżni.84