(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

W górnej części komory głównej umieszczony jest „holder” na płytkipodłożowe. Jego konstrukcja umożliwia grzanie podłoży w szerokim zakresietemperatur. Piecyk grzejący podłoża wykonany jest z drutu niklowo-chromowegoi umieszczony w pojemniku ze stali nierdzewnej. W jego pobliżu znajduje się termoparapołączona z regulatorem temperatur, który steruje prądem zasilającym piecyk. Drugatermopara mierzy temperaturę denka stalowego pojemnika z piecykiem. Do denkaprzylega od spodu blok duralowy z uchwytami („łapkami”) na płytki podłożowe.Na stoliku (bloku) mogą być umieszczone jednocześnie cztery płytki. Podczas pracystolik może być obracany, co ma zapewnić jednorodny wzrost warstwy podczasprocesu. Do określania temperatury podłoży służy trzecia termopara. Blok z podłożamimoże być zasłaniany lub odsłaniany za pomocą ruchomej przesłony uruchamianejz zewnątrz komory głównej.Do uzyskania próżni wstępnej (10 -3 Tr) wykorzystuje się pompę rotacyjną,zaś do uzyskania wysokiej próżni (10 -8 Tr) zastosowano pompę dyfuzyjnąz wymrażarką azotową. Pompa rotacyjna BL 60 ma szybkość pompowania 60 m 3 nagodzinę. Pompa dyfuzyjna PDO 2000 jest napełniona olejem do pomp dyfuzyjnych„Santovac”. Jest ona wyposażona w chłodzony wodą odrzutnik par oleju, na którymumieszczona jest pułapka chłodzona ciekłym azotem (wymrażarka). Wlot pompydyfuzyjnej połączony jest z komorą główną poprzez zawór elektromagnetyczny(produkowany w Zakładzie Techniki Próżniowej TEPRO w Koszalinie). Taki samzawór zainstalowany jest pomiędzy pompą dyfuzyjną, a pompą rotacyjną. Systemzaworów jest sterowany ręcznie. Wylot z komory głównej do zaworu i do pompydyfuzyjnej osłonięty jest chłodzonymi wodą pułapkami dla uniknięcia przedostawaniasię resztek par oleju z pompy dyfuzyjnej do komory głównej. Do górnej części komorygłównej wpuszczony jest cylinder, chłodzony ciekłym azotem, który w końcowymokresie pompowania używany jest jako pompa kriogeniczna. W komorze głównejzainstalowane są także dwa układy pompujące, które są bardziej wydajne przy próżnilepiej niż 10 -5 Tr. Jeden to pompa jonowo sorpcyjna PZK 100, drugi to tytanowa pompasublimacyjna zbudowana odpowiednio dla naszych potrzeb z elementów takiej pompyprodukowanej przez firmę z Bolesławca.Kontrola stopnia próżni odbywa się przy użyciu sondy jonizacyjnej typuBayarda Alperta (PT-3 próżniomierz termoelektryczny) oraz sondy Bolesławieckiej(PJ-8 próżniomierz jonizacyjny).83