(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

Zakładając, że transport atomów odbywa się bez zderzeń (założenia kinetycznej teoriigazu idealnego) oraz, że tło w komorze wzrostu jest rzędu 10 -9 – 10 -8 Tr, można zapisaćrównanie na drogę swobodną λ 0 w gazie o ciśnieniu p zgodnie ze wzorem (4.1):0 const.Tp d055100[m](4.1)p[Tr]gdzie d 0 jest przekrojem czynnym cząsteczki, T to temperatura, zaś p ciśnienie. Możnaoszacować, jaką otrzymujemy drogę swobodną molekuł przy danym ciśnieniu. Dlaciśnienia p = 10 -9 Tr otrzymano λ 0 = ~ 50 km, natomiast dla ciśnienia p = 10 -6 Tr drogaswobodna wynosi λ 0 ~ 50 m.Strumień molekuł w wiązce ze źródłaWyrażenie na ilość molekuł padających na podłoże (cm 2 ) podczas procesuepitaksji w jednostce czasu można zapisać:F p s2 L 2cell constmkTB[molekuł/cm 2 sec] (4.2)gdzie p jest prężnością par pierwiastka w komórce o temperaturze T, L to odległośćpomiędzy komórką efuzyjną a podłożem, s cell to pole powierzchni wylotu komórki,m jest masą molekularną zaś stała (const) zależy od budowy źródła.Jeżeli wszystkie molekuły (emitowane z komórek efuzyjnych) pozostanąna podłożu, to prędkość wzrostu może zostać zapisana zgodnie ze wzorem (4.3):MLV sec a 2gdzie ML (monolayer) jest pojedynczą monowarstwą, 2/(a 0 ) 2gęstością pozycji atomowych (np. sieć fcc).Współczynnik przylgnięcia oznaczany symbolem α (z ang. sticking coefficient -sc) jest terminem informującym o stosunku ilości atomów (albo molekuł), któreprzylgnęły do powierzchni, do całkowitej liczby atomów nadlatujących w stronępowierzchni w określonym przedziale czasu. Wartość współczynnika opisywana jestpomiędzy 1 (gdzie wszystkie nadlatujące atomy przylgną do powierzchni) a 0 (gdzieżaden z nadlatujących atomów do powierzchni nie przylgnie). Współczynnik ten jestfunkcją temperatury, obszaru pokrycia powierzchni, detali strukturalnych, jak równieżenergii kinetycznej nadlatujących cząstek.86F20(4.3)jest powierzchniową