(Cd,Mn)Te - Instytut Fizyki PAN

6.4. POMIARY GRUBOŚCI WARSTW, ANALIZA SKŁADUPOWIERZCHNI - SEMElektronowy mikroskop skaningowy (SEM - Scanning Electron Microscope)jest przyrządem za pomocą którego uzyskiwany jest obraz w wyniku "bombardowania"próbki wiązką elektronów. Wiązka ta skupiona jest na przedmiocie w postaci małejplamki (nawet do 1nm). Obserwowany obszar „oblewa” wiązka elektronów, liniapo linii. Układ taki często jest wyposażony w wiele detektorów. Prawie zawszeinstalowany jest detektor niskoenergetycznych elektronów wtórnych emitowanychprzez próbkę w wyniku jej pobudzenia przez elektrony wiązki (SE - SecondaryElectrons) oraz detektor elektronów odbitych (BSE - Back Scattered Electrons).W układach takich dość często instalowane są także np. detektory promieniowaniarentgenowskiego wzbudzanego w próbce przez wiązkę - spektroskopia długości fal(WDS - Wavelength Dispersion Spectroscopy) lub energii (EDS - Energy DispersionSpectroscopy zwana także EDX - Energy Dispersive X-ray Analysis). Modyte pozwalają na uzyskanie informacji o ilościowych składach pierwiastkówwchodzących w skład badanego materiału.Nieprzewodzące często materiały pod wpływem wiązki elektronów ładują sięujemnie i uniemożliwiają uzyskanie obrazu. Z tego powodu próbki nieprzewodząceprzed obserwacją prawie zawsze muszą być napylane cienką warstwą materiałuprzewodzącego (np. złoto, osm, węgiel (grafit), pasta srebrna).Czyste krystaliczne płytki (Cd,Mn)Te, jak i z naniesionymi kontaktamiw postaci cienkich warstw, badane były przy użyciu mikroskopu SEM firmy Hitachi,zaś mod Su-70 EDS (Termo Scientific NSS system) wyposażony jest w detektor SDD.Pomiary oraz ich interpretacja wykonywane zostały we współpracy z mgr A. Reszką iprof. nzw. dr hab. B. Kowalskim z laboratorium ON 4.4 IF PAN w Warszawie.155