Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
96 5 Schichteigenschaften - 1: (Ba,Sr)TiO3 (BST) auf Platin<br />
Intensität<br />
3000<br />
2500<br />
2000<br />
1500<br />
1000<br />
500<br />
100<br />
110<br />
Pt (111)<br />
0<br />
20 30 40 50 60<br />
2Theta [°]<br />
200<br />
Abbildung 5.14: θ-2θ Beugungsdiagramm<br />
einer 34nm dicken BST<br />
Schicht, die bei 655°C auf Platin<br />
gewachsen wurde. Sowohl der (100)<br />
als auch der (200) Reflex der BST<br />
Schicht sind deutlich zu sehen. Der<br />
(110) Reflex ist nicht vorhanden.<br />
Über den (111) Reflex kann in dieser<br />
Geometrie keine Aussage gemacht<br />
werden, da er vom Pt-Peak<br />
verdeckt wird.<br />
Die Schärfe der Textur wurde durch die sog. ‚rocking curve’ erfasst. Dabei wird der Detektor<br />
auf einen bekannten Bragg-Winkel, 2θ, gesetzt und die Probe durchfährt θ. Die Breite dieser<br />
Kurve ist ein Maß für den Grad der Ausrichtung der Körner. Abbildung 5.15 zeigt die rocking<br />
Kurve einer orientierten BST Schicht.<br />
Intensität [a.u.]<br />
10000<br />
8000<br />
6000<br />
4000<br />
2000<br />
0<br />
BST 200 - 0°<br />
BST 200 - 90°<br />
15 17 19 21 23 25 27 29<br />
θ [°]<br />
Abbildung 5.15: Rrockingkurven<br />
am (200) Reflex von<br />
orientiertem BST auf<br />
orientiertem Platin.<br />
Messungen erfolgten für Φ =<br />
0° und Φ = 90° . Die Breite<br />
auf halber Höhe ist < 2° und<br />
entspricht der des (111) Reflexe<br />
des Platinsubstrates.<br />
Die Breite auf halber Höhe ist
Change language