Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

3.2 Schichtanalyse and Charakterisierung 61
In geeigneter Darstellung (logJ gegenüber E 1/2 ) kann eine lineare Abhängigkeit gefunden
werden und εr kann über die Steigung der Geraden berechnet werden, während die Barrierenhöhe
am y-Achsenabschnitt abgelesen wird.
Die damit erhaltenen Parameter sind zum Teil unphysikalisch (z.b. εr < 1) oder im Falle des
∆Φ nicht im sinnvollen Wertebereich. Zudem wird oft eine Dickenabhängigkeit beobachtet:
ein besseres Leckstromverhalten für dünnere Filme [92]. Dies kann in der Simulation durch
die Einfügung einer dead layer Schicht an den Grenzflächen zu den Elektroden berücksichtigt
werden, die zu einem Anstieg des elektrischen Feldes an den Elektroden führt. Für einige der
hier hergestellten Proben wurde von Schroeder und Schmitz [93] das Leckstromverhalten mit
detaillierten Simulationsrechnungen verglichen und ausführlich diskutiert.