Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

106 5 Schichteigenschaften - 1: (Ba,Sr)TiO3 (BST) auf Platin
Rauhigkeit, RMS [nm]
6
5
4
3
2
1
0
Substrat
655°C Ti rich
trend-Ti rich
655°C Gr-II rich
trend-Gr-II rich
565°C Ti rich
565°C Gr-II rich
trend 565°C
0 20 40 60 80 100 120
Filmdicke [nm]
Abbildung 5.30: Auftragung
der mittleren quadratischen
Rauhigkeit gegenüber
der Dicke für Ti-
und Gr.-II reiche BST
Schichten nach Abscheidung
bei 655°C bzw. bei
565°C.
Die Oberflächenstruktur der Gr.-II reichen Schichten wird hauptsächlich durch die Korngröße
bestimmt. Zwischen Korngröße und Schichtdicke besteht ein Zusammenhang, der in Abbildung
5.31 näher beschrieben wird. Hier wird eine 16nm dicke Probe mit einer 130nm dicken
Probe verglichen. Diese Abbildung ist insofern interessant, da sie zeigt, wie mit Hilfe der
Phasenverschiebung die Kornstruktur deutlich sichtbar gemacht werden kann. In der hier vorliegenden
Vergrößerung sind die feineren Strukturen nur schlecht erkennbar, aber in der Darstellung
der Phasenverschiebung wird der Kontrast zwischen den einzelnen Kolumnen deutlicher.
Die Größe der Kolumnen aus (a) liegt bei ~20nm; nur einzelne haben bereits den Wert
von 50nm erreicht, während die Kolumnen der 130nm dicken Probe in (b) im Mittel auf eine
Größe von 50nm angewachsen sind.
(a) 16nm
(b) 130nm
Abbildung 5.31: Darstellung der Topographie und der entsprechenden Phasenverschiebung
einer 16nm (a) und 130nm (b) dicken Gr.-II reichen (Gr.-II/Ti = 1,07) BST Schicht auf Platin.