Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

5.2 Strukturelle Eigenschaften der BST Schichten 105
(a) (b)
(c) (d)
Abbildung 5.29: Dickenserie Gr.-II reicher Proben auf Platinsubstrat. Mit 33nm (a), 54nm (b),
91nm (c) und 130nm (d). Die Probe (d) wurde mit dem TRIJET Verdampfer hergestellt.
b) Rauhigkeit
Abbildung 5.30 zeigt die Dickenabhängigkeit der Oberflächenrauhigkeit von titanreichen-
und Gr.-II reichen Schichten, die bei 655°C bzw. bei 565°C abgeschieden wurden. Die Messung
erfolgte über einen Bereich von 1x1µm². In diesem Bereich konnten größere, unregelmäßige
Schwankungen wie z.B. vereinzelte Hillocks umgangen werden. Ausgehend vom unbehandelten
Platinsubstrat mit einem RMS von etwa 1,0 – 1,5nm steigt die Rauhigkeit mit
größer werdender Schichtdicke stetig an. Bis etwa 60nm erkennt man deutlich eine erhöhte
Rauhigkeit der bei 565°C abgeschiedenen Filme. Zwischen den titanreichen und den Gr.-II
reichen Schichten, die bei 655°C abgeschieden wurden, werden geringfügig glattere Oberflächen
für titanreiche Schichten zwischen 10 und 50nm gefunden.