Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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10.1 Literaturverzeichnis 163<br />
[55] J.-H. Lee, J.-Y. Kim, J.-Y. Shim and S.-W. Rhee, J. Vac. Sci. Technol. A, 17 (1999)<br />
p.3033<br />
[56] R. Bhakta, F. Hippler, A. Devi, S. Regnery, P. Ehrhart, R. Waser, Chem. Vap. Dep. 9<br />
(2003) p.295<br />
[57] U. Patil, M. Winter, H.-W. Becker, A. Devi, J. Mater. Chem. 13 (2003) p.2177<br />
[58] R. Thomas, S. Regnery, P.Ehrhart, R. Waser, U. Patil, R.Bhakta, and A. Devi, Vortrag<br />
auf der AMF-4 (2003), zur Veröff. eingereicht bei Integr. Ferroel.<br />
[59] R. Becker, A. Baunemann, A. Devi, F. Hippler, H.-W. Becker, R. Thomas,<br />
P.Ehrhart, Vortrag auf der AMF-4 (2003), zur Veröff. eingereicht bei Integr. Ferroel.<br />
[60] Y. Kojima, H. Kodakura, Y. Pkahara, M. Matsumoto, T. Mogi, Int. Ferroelectrics 18<br />
(1997) p.183<br />
[61] D-O. Lee, P. Roman, C-T. Wu, W. Mahonay, M. Horn, P. Mumbauer, M. Brubaker,<br />
R. Grant, J. Ruzyllo, Microelectronic Engineering, 59 (2001) p.405<br />
[62] B-G. Chae, W-J. Lee, I-K. You, S-O. Ruy, M-Y. Jung, B-G. Yu, Jpn. J. Appl. Phys.<br />
41 (2002) L729<br />
[63] Advanced Technology Materials, Inc., Operating Manual LDS-300B, Version 5.2<br />
[64] Homepage AIXTRON: www.aixtron.com<br />
[65] Erfahrungsaustausch mit der Firma Aixtron, 2002<br />
[66] Erfahrungsaustausch mit Chemielabor, IWE-1, Aachen<br />
[67] R. Jenkins, J.L. de Vries: Practical X-Ray Spectroskopy, Macmillen & Co.Ltd, London-Basingstoke<br />
(1970)<br />
[68] RIGAKU Industrial Corp., ZSX 100e Instruction Manual (2001)<br />
[69] J. F. Watts, J. Wolstenholme: An Introduction to surface analysis by XPS and AES,<br />
Wiley, 2003<br />
[70] U. Breuer, W. Krumpen, F. Fitsilis, Anal. Bioanal. Chem. 375 (2003) p. 906-911<br />
[71] PCPDFwin 1.3, Joint Commitee on Powder Diffraction Standards (1997)<br />
[72] I.C. Noyan, J.B. Cohen: Residual Stress, Measurement by Diffraction and Interpretation,<br />
Springer NY (1987)<br />
[73] A. Segmüller, Murakami: X-ray Diffraction Analysis of Strain and Stresses in Thin<br />
Films in “Analytical Techniques for Thin Films (Treatise on Materials Science and<br />
Technology)”, 27, K.N. Tu, R. Rosenberg (eds.), Academic Press (1988) p.143-200<br />
[74] F. Fitsilis, S. Regnery, P. Ehrhart, R. Waser, F. Schienle, M. Schumacher, M.<br />
Dauelsberg, P. Strzyzewski, and H. Juergensen, J. of the Europ. Ceram. Soc. 21<br />
(2001) p.1547-1551<br />
[75] G. Binnig, C.F. Quate, Ch. Gerber, Phys. Rev. Lett. 56 (1986) p. 930<br />
[76] G. Binnig and H. Rohrer, Sci. Am. 253 (1985) p.50<br />
[77] SIS, Bedienungsanleitung RSM (2001), vol. 1.2<br />
[78] Informationen von SIS und JEOL<br />
[79] T.G. Rochow, P.A. Tucker: Introduction to Microskopy by Means of Light, Plenium<br />
Press, New York (1994)