Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
4 Ergebnisse der Prozessentwicklung<br />
In diesem Kapitel geht es darum, die Prozessparameter der AIX 2600G3 Anlage in Bezug auf<br />
die erwünschten Schichteigenschaften zu optimieren. Die technischen Forderungen der Anwender<br />
beziehen sich in erster Linie auf die elektrischen Eigenschaften der Schichten.<br />
Daneben werden Aspekte der Produktionstechnik und Produktionskosten wie z.B. die Effizienz<br />
der Abscheidung, sowie die Homogenität und Reproduzierbarkeit der Filme betrachtet.<br />
Zwischen den einzelnen Prozessparametern besteht kein direkt nachvollziehbarer Zusammenhang<br />
zu den einzelnen geforderten Eigenschaften, da, wie in Abbildung 4.1 schematisch<br />
durch die Verbindungslinien dargestellt, die Kombination vieler Prozessparameter letztlich<br />
die Schichteigenschaften bestimmt. Auf der untersten Ebene in der Pyramide stehen die Eigenschaften,<br />
die direkt von den Prozessparametern beeinflusst werden. Diese können unterteilt<br />
werden in mehr MOCVD spezifische Eigenschaften, die direkt zur Spitze führen und die<br />
<strong>chemische</strong>n und strukturellen Eigenschaften, die über die Struktur-Eigenschaftsbeziehungen<br />
mit den elektrischen Eigenschaften verbunden sind. Letztere sollten nicht vom Herstellungsprozess<br />
abhängig sein und erlauben somit den Vergleich mit Schichten, die mit anderen Methoden<br />
(s. Tab. 2.2) abgeschieden wurden.<br />
Abbildung 4.1: Schematische Darstellung der Zusammenhänge zwischen den Prozessparametern<br />
und denen durch die Anwender der IT Branche geforderten Schichteigenschaften.<br />
Aufgrund der großen Zahl an Prozessparametern ist die Optimierung des Prozessfensters sehr<br />
aufwändig und erfordert zusätzlich eine sehr stabile Prozessführung. Bei einer Anzahl m an<br />
zu untersuchenden Parametern und einer Anzahl n an Testexperimenten pro Parameter kommt<br />
man auf eine Gesamtzahl von n m Experimenten. Also bei den eingezeichneten fünf wichtigsten<br />
Parametern und drei bis vier Testexperimenten pro Parameter wären dies 243 bis 1024<br />
Experimente. Daher ist es wichtig eine sinnvolle Abwägung des Einflusses der einzelnen Pa-
Change language