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- Seite 48 und 49: 3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 50 und 51: 3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 52 und 53: 3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 54 und 55:
3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
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3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 58 und 59:
3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
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3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 62 und 63:
3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 64 und 65:
3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 66 und 67:
3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
- Seite 68 und 69:
4 Ergebnisse der Prozessentwicklung
- Seite 70 und 71:
4.1 Prozessparameter für BST 65 Pr
- Seite 72 und 73:
4.1 Prozessparameter für BST 67 Mi
- Seite 74 und 75:
4.1 Prozessparameter für BST 69 Um
- Seite 76 und 77:
4.1 Prozessparameter für BST 71 4.
- Seite 78 und 79:
4.1 Prozessparameter für BST 73 Ab
- Seite 80 und 81:
4.2 Prekursortest: M-(O-Pri)2(tbaoa
- Seite 82 und 83:
4.2 Prekursortest: M-(O-Pri)2(tbaoa
- Seite 84 und 85:
4.3 STA Abscheidung aus mono-moleku
- Seite 86 und 87:
4.3 STA Abscheidung aus mono-moleku
- Seite 88 und 89:
4.3 STA Abscheidung aus mono-moleku
- Seite 90 und 91:
5 Schichteigenschaften - 1: (Ba,Sr)
- Seite 92 und 93:
5.1 Keimbildung und Wachstum 87 Erg
- Seite 94 und 95:
5.1 Keimbildung und Wachstum 89 sta
- Seite 96 und 97:
5.1 Keimbildung und Wachstum 91 Abb
- Seite 98 und 99:
5.1 Keimbildung und Wachstum 93 Ba
- Seite 100 und 101:
5.2 Strukturelle Eigenschaften der
- Seite 102 und 103:
5.2 Strukturelle Eigenschaften der
- Seite 104 und 105:
5.2 Strukturelle Eigenschaften der
- Seite 106 und 107:
5.2 Strukturelle Eigenschaften der
- Seite 108 und 109:
5.2 Strukturelle Eigenschaften der
- Seite 110 und 111:
5.2 Strukturelle Eigenschaften der
- Seite 112 und 113:
5.3 Elektrische Eigenschaften 107 5
- Seite 114 und 115:
5.3 Elektrische Eigenschaften 109 a
- Seite 116 und 117:
5.3 Elektrische Eigenschaften 111 5
- Seite 118 und 119:
5.3 Elektrische Eigenschaften 113 E
- Seite 120 und 121:
5.3 Elektrische Eigenschaften 115 F
- Seite 122 und 123:
5.3 Elektrische Eigenschaften 117 (
- Seite 124 und 125:
5.4 Zusammenfassung 119 5.4 Zusamme
- Seite 126 und 127:
6 Schichteigenschaften - 2: STO auf
- Seite 128 und 129:
6.1 Entwicklung der Grenzschicht zw
- Seite 130 und 131:
6.1 Entwicklung der Grenzschicht zw
- Seite 132 und 133:
6.2 Strukturelle und chemische Schi
- Seite 134 und 135:
6.2 Strukturelle und chemische Schi
- Seite 136 und 137:
6.3 Elektrische Charakterisierung v
- Seite 138 und 139:
7 Schichteigenschaften - 3: SrTa 2O
- Seite 140 und 141:
7.1 Strukturelle Eigenschaften 135
- Seite 142 und 143:
7.2 Elektrische Eigenschaften 137 M
- Seite 144 und 145:
7.2 Elektrische Eigenschaften 139 I
- Seite 146 und 147:
7.2 Elektrische Eigenschaften 141 J
- Seite 148 und 149:
7.2 Elektrische Eigenschaften 143 7
- Seite 150 und 151:
7.3 Zusammenfassung 145 7.3 Zusamme
- Seite 152 und 153:
8 Schichteigenschaften - 4: Oxide d
- Seite 154 und 155:
8.1 TiO2 149 (a) (b) Abbildung 8.3:
- Seite 156 und 157:
8.2 ZrO2 151 8.2 ZrO2 8.2.1 Struktu
- Seite 158 und 159:
8.3 HfO2 153 8.3 HfO2 8.3.1 Struktu
- Seite 160 und 161:
8.3 HfO2 155 Kapazität [pF] 700 60
- Seite 162 und 163:
9 Zusammenfassung und Ausblick 9.1
- Seite 164 und 165:
9.1 Zusammenfassung und Ausblick 15
- Seite 166 und 167:
10 Literaturverzeichnis 10.1 Litera
- Seite 168 und 169:
10.1 Literaturverzeichnis 163 [55]
- Seite 170 und 171:
10.1 Literaturverzeichnis 165 [107]
- Seite 172 und 173:
Danksagung Mein besonderer Dank gil
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