Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

82 4 Ergebnisse der Prozessentwicklung
d) Trägergasflussrate
Mit der Trägergasflußrate lässt sich die Homogenität über die 6“ Wafer beeinflussen. Zur
Untersuchung wurden fünf ein Zoll große Stücke entlang des Durchmessers der 6“ großen
Wafer herausgebrochen und mittels XRF analysiert. Die Position 3 ist dabei in der Mitte. In
Abbildung 4.23 ist zu sehen, wie mit zunehmendem Trägergasfluss sich die Homogenität über
dem Wafer erhöht. Die relative Standardabweichung, ∆, ändert sich dabei von 4,8 auf 1,2%.
Wie Abbildung 4.23b zeigt, führt die Erhöhung des Flusses jedoch zu einer leichten Abweichung
von der stöchiometrischen Zusammensetzung. Eine Erhöhung auf 1200ml/Min bewirkt
eine Verschiebung der Sr/Ta-Zusammensetzung von ~ 0,50 auf ~ 0,57. Für amorphe Schichten
konnte diese Stöchiometrieabweichung hingenommen werden. Bei exakt stöchiometrischen
Schichten konnte dagegen die Dickeninhomogenität von