Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

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Institut für Festkörperforschung
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Metallorganisch chemische Gasphasen
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Kurzfassung Die zunehmende Miniatur
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Inhaltsverzeichnis Kurzfassung ....
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1 Einführung 1.1 Anwendungen von h
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1.1 Anwendungen von hoch-ε Materia
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1.2 Aufbau der Arbeit 9 scheidung v
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2 Grundlagen Im ersten Teil dieses
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2.1 Hoch-ε Materialien 13 Hier wir
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2.1 Hoch-ε Materialien 15 Man beob
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2.1 Hoch-ε Materialien 17 Abbildun
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2.2 Schichtabscheidung 19 erstoffpa
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2.2 Schichtabscheidung 21 ße eines
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2.2 Schichtabscheidung 23 a) Prekur
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2.2 Schichtabscheidung 25 Der Dampf
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2.2 Schichtabscheidung 27 Hier ist
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2.2 Schichtabscheidung 29 Im Grenzf
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3 Experimentelles Dieses Kapitel gi
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3.1 MOCVD 33 Die analogen Komplexe
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3.1 MOCVD 35 Abbildung 3.3 Zentrale
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3.1 MOCVD 37 Das Kernstück der hie
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3.1 MOCVD 39 und Suszeptor. Davon a
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3.1 MOCVD 41 der Prekursoren als ko
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3.2 Schichtanalyse and Charakterisi
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4 Ergebnisse der Prozessentwicklung
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4.1 Prozessparameter für BST 65 Pr
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4.1 Prozessparameter für BST 67 Mi
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4.1 Prozessparameter für BST 69 Um
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4.1 Prozessparameter für BST 71 4.
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4.1 Prozessparameter für BST 73 Ab
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4.2 Prekursortest: M-(O-Pri)2(tbaoa
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4.2 Prekursortest: M-(O-Pri)2(tbaoa
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4.3 STA Abscheidung aus mono-moleku
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5 Schichteigenschaften - 1: (Ba,Sr)
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5.1 Keimbildung und Wachstum 87 Erg
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5.1 Keimbildung und Wachstum 89 sta
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5.1 Keimbildung und Wachstum 91 Abb
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5.1 Keimbildung und Wachstum 93 Ba
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5.2 Strukturelle Eigenschaften der
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5.3 Elektrische Eigenschaften 107 5
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5.3 Elektrische Eigenschaften 109 a
Seite 116 und 117:
5.3 Elektrische Eigenschaften 111 5
Seite 118 und 119:
5.3 Elektrische Eigenschaften 113 E
Seite 120 und 121: 5.3 Elektrische Eigenschaften 115 F
Seite 122 und 123: 5.3 Elektrische Eigenschaften 117 (
Seite 124 und 125: 5.4 Zusammenfassung 119 5.4 Zusamme
Seite 126 und 127: 6 Schichteigenschaften - 2: STO auf
Seite 128 und 129: 6.1 Entwicklung der Grenzschicht zw
Seite 130 und 131: 6.1 Entwicklung der Grenzschicht zw
Seite 132 und 133: 6.2 Strukturelle und chemische Schi
Seite 134 und 135: 6.2 Strukturelle und chemische Schi
Seite 136 und 137: 6.3 Elektrische Charakterisierung v
Seite 138 und 139: 7 Schichteigenschaften - 3: SrTa 2O
Seite 140 und 141: 7.1 Strukturelle Eigenschaften 135
Seite 142 und 143: 7.2 Elektrische Eigenschaften 137 M
Seite 144 und 145: 7.2 Elektrische Eigenschaften 139 I
Seite 146 und 147: 7.2 Elektrische Eigenschaften 141 J
Seite 148 und 149: 7.2 Elektrische Eigenschaften 143 7
Seite 150 und 151: 7.3 Zusammenfassung 145 7.3 Zusamme
Seite 152 und 153: 8 Schichteigenschaften - 4: Oxide d
Seite 154 und 155: 8.1 TiO2 149 (a) (b) Abbildung 8.3:
Seite 156 und 157: 8.2 ZrO2 151 8.2 ZrO2 8.2.1 Struktu
Seite 158 und 159: 8.3 HfO2 153 8.3 HfO2 8.3.1 Struktu
Seite 160 und 161: 8.3 HfO2 155 Kapazität [pF] 700 60
Seite 162 und 163: 9 Zusammenfassung und Ausblick 9.1
Seite 164 und 165: 9.1 Zusammenfassung und Ausblick 15
Seite 166 und 167: 10 Literaturverzeichnis 10.1 Litera
Seite 168 und 169: 10.1 Literaturverzeichnis 163 [55]
Seite 172 und 173: Danksagung Mein besonderer Dank gil
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