Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

4.1 Prozessparameter für BST 73
Abbildung 4.11: Entstehung von bis zu 60nm hohen Hillocks auf Platinsubstrat ohne zusätzliche
Abscheidung von Prekursoren.
Dies deutet daraufhin, dass Prekursorrückstände z.B. im Zuleitungsrohr zwischen Verdampfer
und Reaktor bzw. im Eingangsbereich des Reaktors (Glasdüse) verblieben, die erst im nächsten
Versuch wieder freigespült werden. Da auch mit dem neuen TRIJET Verdampfer ähnliche
Hillocksbildung beobachtet wurde, liegt die Vermutung nahe, dass dies kein spezielles Problem
des Verdampfers ist, sondern mit dem Belüften und Öffnen des Reaktors zu tun hat. Dabei
können u. U. dünne, sonst stabile Adsorbatschichten reagieren und Partikel bilden. Es ist
deshalb anzunehmen, dass dieses Problem bei einem Produktionsreaktor mit Waferschleuse
nicht auftritt.
Eine Auswertung mit EDX von einer mit dem TRIJET Verdampfer hergestellten Schicht, auf
der übermäßig viele Hillocks beobachtet wurden, ergab, dass die ansonst kohlenstofffreie
Schicht, auf dem Hillock einen bis zu 30%-haltigen Kohlenstoffanteil enthielt. Diese stark
kohlenstoffhaltigen Partikel sind chemisch stabil und ließen sich selbst mit Flusssäure nicht
entfernen.
4.1.3 Prozessvariation: Modifizierte Grenzschichten
In diesem Unterkapitel werden kurz einige Variationen der Abscheidung vorgestellt, die mit
dem TRIJET Verdampfer möglich wurden, siehe Abbildung 4.12. Die Auswertung der Filmeigenschaften
ergab aber, dass nur ein Teil dieser Variationen einen signifikanten Einfluss auf
die Filmeigenschaften hat.
Abbildung 4.12: Verschiedene Möglichkeiten der Filmabscheidung. Die Balken stellen die
einzelnen Pulse dar, die auf der Zeitachse liegen. Die Darstellung ist nicht Maßstabgetreu.