Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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32 3 Experimentelles<br />
kursortwicklungen für Titan und andere IVb - Metalle wurden von der Gruppe um Prof. R.A.<br />
Fischer und Dr. Anjana Devi an der RUB durchführt. Die für erste Tests in unserem Reaktor<br />
verwendeten Prekursoren werden in folgenden beschrieben.<br />
b) Test neuer Prekursoren für TiO2, und andere Gruppe IVb Oxide<br />
Bei dieser Entwicklung sollten die thermischen Eigenschaften des Prekursors durch gezielte<br />
Veränderung der Liganden erreicht werden. Ausgehend vom Ti(O-iPr)2(thd)2 wurde durch<br />
Einbau von Esterkomplexen an der Seitenkette eines β-Diketonat Liganden ein monomerer<br />
Komplex gebildet. Abbildung 3.1. zeigt die Struktur des neuen Titanprekursors: Ti(OiPr)2(tbaoac)2,<br />
bis-isopropoxy-bis-tertiarybutyl-acetoacetatetitanium. Detaillierte Beschreibung<br />
findet sich dazu in Bhakta et.al. [51].<br />
Der neue Titankomplex hat reduzierte Luft- und Feuchtigkeitssensitivität, eine verbesserte<br />
Flüchtigkeit, thermische Stabilität und eine längere Lebenszeit in gelöstem Zustand. Es konnte<br />
in thermogravimetrischen Messungen gezeigt werden, dass der neue Prekursor bei einem<br />
vernachlässigbaren Rest