Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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4.3 STA Abscheidung aus mono-molekularem Prekursor 83<br />
e) Zusammenfassung der Prozessparameter<br />
In der nachfolgenden Tabelle (4.4) werden die wichtigsten Prozessparameter für die Herstellung<br />
von SrTa2O6 nochmals zusammengefasst. Die optimierte Wachstumstemperatur unterscheidet<br />
sich leicht für Platin und TiN-Substrat.<br />
Prozessparameter für SrTa2O6 Bereich Standardabscheidung<br />
TRIJET Verdampfer<br />
Verdampfertemperatur Gradient von 170° (oben) – 225° C (unten)<br />
Anzahl der Quellen 1 1<br />
Zeit zwischen den Pulsen 0,5s 0,5s<br />
Pulslänge 0,8ms 0,8ms<br />
Trägergas 400 – 1200sccm 1000sccm<br />
Reaktor<br />
Suszeptortemperatur 350° – 520°C<br />
500°C auf Platin<br />
515°C auf TiN<br />
Temperatur an der Glasscheibe 140° – 190°C 180°C<br />
Prozess Druck 1 – 6mbar 2mbar<br />
Summe Trägergas 400 – 1640sccm 1440sccm<br />
Sauerstoffflussrate 100 – 500sccm 500sccm<br />
Wachstumsrate 3 – 12 nm/min ~ 9 nm/min auf Platin<br />
~ 8 nm/min auf Si, TiN<br />
Tabelle 4.4: Übersicht der Prozessparameter für die Herstellung von SrTa2O6.
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