Metallorganisch chemische ... - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

iv 0 Inhaltsverzeichnis
5 Schichteigenschaften - 1: (Ba,Sr)TiO3 (BST) auf Platin ...................85
5.1 Keimbildung und Wachstum.................................................................................... 85
5.1.1 Platinsubstrat .................................................................................................... 85
5.1.2 Wachstumsstrukturen....................................................................................... 88
5.1.3 Chemische Zusammensetzung ......................................................................... 92
5.2 Strukturelle Eigenschaften der BST Schichten ........................................................ 95
5.2.1 Abhängigkeit von der Abscheidtemperatur...................................................... 99
5.2.2 Stöchiometrieabhängigkeit............................................................................. 100
5.2.3 Dickenabhängigkeit........................................................................................ 103
5.3 Elektrische Eigenschaften ...................................................................................... 107
5.3.1 Einfluss von Abscheidtemperatur und Gr.-II/Ti Zusammensetzung ............. 111
5.3.2 Einfluss der Ba / Sr Zusammensetzung.......................................................... 114
5.3.3 Modifizierte Grenzflächen ............................................................................. 116
5.4 Zusammenfassung.................................................................................................. 119
6 Schichteigenschaften - 2: STO auf Silizium ...................................121
6.1 Entwicklung der Grenzschicht zwischen STO und Si ........................................... 121
6.2 Strukturelle und chemische Schichteigenschaften ................................................. 126
6.2.1 Mikrostruktur ................................................................................................. 126
6.2.2 Chemische Analyse mittels XPS.................................................................... 127
6.3 Elektrische Charakterisierung von MOS Strukturen.............................................. 130
6.4 Zusammenfassung.................................................................................................. 132
7 Schichteigenschaften - 3: SrTa2O6 (STA) .....................................133
7.1 Strukturelle Eigenschaften ..................................................................................... 133
7.2 Elektrische Eigenschaften ...................................................................................... 137
7.2.1 STA auf Platinelektroden............................................................................... 137
7.2.2 STA auf TiN................................................................................................... 142
7.2.3 STA auf Silizium............................................................................................ 143
7.3 Zusammenfassung.................................................................................................. 145
8 Schichteigenschaften - 4: Oxide der Gr.-IVb Metalle .....................147
8.1 TiO2 ........................................................................................................................ 147
8.1.1 Strukturelle Eigenschaften ............................................................................. 147
8.1.2 Elektrische Eigenschaften .............................................................................. 149
8.2 ZrO2........................................................................................................................ 151
8.2.1 Strukturelle Eigenschaften ............................................................................. 151
8.2.2 Elektrische Eigenschaften .............................................................................. 152
8.3 HfO2....................................................................................................................... 153
8.3.1 Strukturelle Eigenschaften ............................................................................. 153
8.3.2 Elektrische Eigenschaften .............................................................................. 154
8.4 Zusammenfassung.................................................................................................. 156
9 Zusammenfassung und Ausblick ...................................................157
9.1 Zusammenfassung und Ausblick ........................................................................... 157
10 Literaturverzeichnis .....................................................................161
10.1 Literaturverzeichnis................................................................................................ 161
Danksagung .........................................................................................167