etude theorique et experimentale du transport electronique ... - Ief

Chapitre III : Etude expérimentale des effets non stationnairesdopages de référence. On remarque les effets non stationnaires sont plus importants à faible longueur. Deplus, on remarque qu’ils sont plus importants pour les doses les plus élevées et les plus faibles. En effet,pour ces deux configurations, la raideur des jonctions est plus importante, comme illustré sur la Figure III-37 .1,6Ratio IEB/IDD1,51,41,31,2100nm120nm200nm400nm1000nm1,11,01,0E+12 1,0E+13 1,0E+14 1,0E+15Dose LDD (at/cm2)Figure III- 37: Illustration du dopage des extensions.Figure III- 38: Comparaison des ratios entre les modèles EnergyBalance et Dérive Diffusion pour les différentes doses etdifférentes longueurs de diodes à V DS =1V.Les simulations ont montré un effet de la raideur des jonctions. Qu’en est il pour les mesuresexpérimentales. Pour mettre en évidence les limites des modèles, nous définissons R ext le ratio descourants par rapport au courant de la diode dont le dopage de l’extension est la plus faible :RModelextModelI DS DoseModelDS Dose=1013at / cm²= III- 4ICe ratio est tracé pour l’ensemble des longueurs pour un dopage des extensions de 5×10 13 at/cm² sur laFigure III- 39. De plus, ce ratio a été tracé pour différents dopages des extensions pour la longueur de60nm de longueur de grille sur la Figure III- 40. L’expérience apparaît donner des ratios plus importants.Mais il est ici difficile de conclure sur les limites des modèles. En effet, à la vue de l’incertitude sur lasimulation du procédé de fabrication, on ne peut pas étudier les limites des modèles.G a in p a r r a p p o r t 1 e 1 3 a t /c m 21,91,81,71,61,51,41,31,21,11DériveDiffusionSiliciumEnergyBalance10 100 1000 10000L G(nm)Gain par rapport 1e13at/cm23,532,521,51HYDEXPDD1,00E+12 1,00E+13 1,00E+14 1,00E+15Dose (at/cm2)Figure III- 39: Comparaison des ratios R ext (5.10 13 at/cm²)en fonction des longueurs de grille pour les modèles DériveDiffusion et Hydrodynamique et l’expérience.Figure III- 40: Comparaison des ratios R ext en fonction des dosespour les modèles Dérive Diffusion et Hydrodynamique etl’expérience pour la longueur de 60nm.- 103 -