Chapitre II : Les différents niveaux de la modélisation2.4.6. Modélisation des temps de relaxationPour effectuer un calcul le plus précis possible sur un système tronqué à l’ordre n, il est nécessaire deconnaître la valeur des n-1 temps de relaxations avec les expressions II- 4 <strong>et</strong> II- 6 <strong>et</strong>c... Classiquement,pour les modèles hydrodynamiques conventionnels, il faut déterminer la mobilité (temps de relaxation <strong>du</strong>moment) <strong>et</strong> le temps de relaxation de l’énergie en tout point <strong>du</strong> dispositif. Pour cela, plusieurs modèlesτ p (T C ) <strong>et</strong> τ W (T C ) dépendants de la température T CBaccarani [28] avec :02satont été développés, notamment par Hänsh [38] ou*3 µ k TCTLmcµ 0TC Lτ w = +II- 272 qv( TC+ TL) 2q TLCependant ces modèles ne perm<strong>et</strong>tent pas de représenter fidèlement la mobilité issue d’une simulationMonte Carlo [27] car les calculs menés pour obtenir des formes simplifiées de II- 4 sont basés surl’approximation de la Maxwellienne déplacée. Or dans les dispositifs, des « porteurs chauds » (oubalistiques) peuvent coexister avec des « porteurs froids » (injection de porteurs au drain, par exemple).Fort de c<strong>et</strong>te constatation, Tang [25] a modélisé la mobilité en la séparant en deux composantes, unehomogène <strong>et</strong> une autre dépendant <strong>du</strong> gradient de l’énergie <strong>et</strong> en calculant le temps de relaxation dépendantde l’énergie. Les coefficients sont alors déterminés à l’aide des simulations Monte Carlo. De même,Thomas calibre τ p (T C ) <strong>et</strong> τ W (T C ) dans [23] pour obtenir des résultats très intéressants. De plus, dans lemême esprit, le calcul <strong>du</strong> flux de chaleur <strong>et</strong> des temps de relaxation étant lié à la forme de la fonction dedistribution f, de nombreux chercheurs ont développé f suivant différentes formes, polynomiale, pro<strong>du</strong>it defonctions. Elles sont résumées <strong>et</strong> analysés par Grasser dans [29]2.5. BilanPour résumer, il est nécessaire de définir des ordres de grandeurs à partir desquelles les modèles ne sontplus pertinents <strong>et</strong> peuvent donner des tendances inexactes. Ainsi, la modélisation macroscopique Dérive-Diffusion perm<strong>et</strong> de modéliser tous types de dispositifs dès lors que les distances caractéristiques sont trèsgrandes devant le libre parcours moyen <strong>du</strong> porteur <strong>et</strong> que la variation <strong>du</strong> champ électrique est faible. Pourdonner un ordre de grandeur, le modèle Dérive-Diffusion perm<strong>et</strong> de modéliser les MOSFETs dont lalongueur est supérieure à environ 500nm. Ensuite les eff<strong>et</strong>s non stationnaires apparaissent <strong>et</strong> il estnécessaire d’utiliser les modèles hydrodynamiques. Dans toute la zoologie de la modélisationhydrodynamique, il n’existe pas de longueur caractéristique précise à partir de laquelle la modélisation estinadaptée. C<strong>et</strong>te grandeur dépend <strong>du</strong> degré d’approximations effectuées <strong>et</strong> des paramètres <strong>du</strong> MOSFET.De nombreuses analyses ont été menées, dans [20], [22] <strong>et</strong> [21], pour connaître l’influence de chacune deses approximations <strong>et</strong> leurs domaines de validités respectifs (Tableau II- 2). Cependant, sans calibration, lamodélisation hydrodynamique est inadaptée pour les longueurs inférieures à environ 200nm. Mais, avecun calibrage sur des valeurs Monte Carlo, les résultats peuvent être très corrects jusqu’à des longueursultimes [25]. La modélisation hydrodynamique reste nécessaire dès lors que l’on s’intéresse aux électronschauds <strong>et</strong> à leur influence sur les caractéristiques <strong>du</strong> courant de ionisation par impact [32][33][34] <strong>du</strong>courant substrat [35][36]<strong>et</strong> <strong>du</strong> courant tunnel vers la grille [37]. En conclusion, ces modèles sont trèsintéressants <strong>et</strong> utiles mais il faut rester prudent quant à leur utilisation lorsque l’on atteint les longueursnanométriques.- 54 -
Chapitre II : Les différents niveaux de la modélisation1. Approximation de la masse effective2. Approximations des bandes paraboliques <strong>et</strong> sphériques (pour la notion de mobilité)3. Règle d’or de Fermi (des temps de relaxation, <strong>et</strong> donc pour le calcul de la mobilité)4. Approximation des temps de relaxation (interactions isotropes, porteurs non dégénérés)5. Approximation de la maxwellienne déplacée6. Approximation <strong>du</strong> flux de chaleur avec la loi de Fourrier de la loi de Wiedmann Franz7. L’énergie de dérive est faible devant l’énergie thermique.8. Le tenseur de température ou d’énergie est diagonal.9. Le gradient de température est constant ou est supposé égale à celle <strong>du</strong> réseau. 1, 2 <strong>et</strong> 3 sont les approximations <strong>du</strong> <strong>transport</strong> semi-classique & 4, 5 <strong>et</strong> 6 sont les approximations des modèles Hydrodynamiques & 7, 8 <strong>et</strong> 9 les approximations spécifiques au modèle Dérive-Diffusion.Tableau II- 2: Liste des approximations les plus utilisées dans le cadre de la modélisation par la méthode des moments. Suivantchaque modèle, certaines approximations peuvent ou non être prise en compte.2.6. Insertion des eff<strong>et</strong>s quantiquesLes différents modèles de simulation rapide de la TCAD ayant été décrits, il est nécessaire maintenantd’évoquer les corrections quantiques effectuées pour prendre en compte le décalage de centre de charge <strong>et</strong>la quantification. Dans un premier temps, nous allons décrire le modèle Density Gradient (DG) puis laméthode <strong>du</strong> couplage Poisson/Schrödinger.2.6.1. Le modèle Dérive Diffusion Quantique ou Density GradientLe modèle Density Gradient, correction quantique <strong>du</strong> modèle Dérive Diffusion, perm<strong>et</strong> de prendre encompte l’eff<strong>et</strong> <strong>du</strong> décalage <strong>du</strong> centre de charge à l’interface Si-SiO 2 avec les équations <strong>du</strong> <strong>transport</strong> semiclassique.C<strong>et</strong>te méthode est basée sur la même résolution que celle utilisées par le modèle Dérive-Diffusion. La différence tient au fait que l’équation de <strong>transport</strong> à résoudre n’est plus l’équation d<strong>et</strong>ransport de Boltzmann, mais l’équation plus générale de <strong>transport</strong> de Wigner [39] [40], dérivée del’équation fondamentale de Liouville Von Neumann,( r k,t) hk∂ρ( r,k,t)( r,k t)∂ ρ , ∂ρ++ θ ( ρ( r,k,t)) =,∂tm ∂r∂tcollII- 28où f est remplacée par la matrice de densité ρ [61] dont les éléments diagonaux ρ nn représentent laprobabilité de présence à l’état ψ n <strong>et</strong> les éléments non diagonaux ρ mn les interférences entre les états ψ n <strong>et</strong>ψ m . L’autre différence avec l’équation de <strong>transport</strong> de Boltzmann est l’apparition d’un troisième termeappelé potentiel quantique de Wigner:θ( ρ( r, k,t)) −iVW ( r,k − k') ρ( r,k',t) dk'=∫ II- 29avec :V W[ V ( r + 1/ 2z)− V ( r −1/2z)] ( − ikz)dz1=∫exp2πII- 30- 55 -