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etude theorique et experimentale du transport electronique ... - Ief

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Chapitre II : Les différents niveaux de la modélisationCouncil souhaite choisir un seul modèle pour la modélisation des transistors futurs. On s’oriente vers lesmodèles plus physiques, comme PSP, un modèle mixte entre MM11 <strong>et</strong> le modèle de l’université dePennsylvanie.5. SAVOIR SE SITUER SUR L’EVENTAIL DE LAMODELISATION5.1. Intro<strong>du</strong>ctionAprès plusieurs années de recherche <strong>et</strong> de développement, la TCAD a permis de simuler les procédés defabrication <strong>et</strong> le comportement électrique des dispositifs avec une précision raisonnable. Aujourd’hui, denouveaux challenges se dressent suite à la diminution des longueurs de grilles. En atteignant l’échellenanométrique, le développement <strong>et</strong> l’optimisation des MOSFETs sont plus ar<strong>du</strong>s. Les possibilités dechaque modèle doivent être correctement évaluées pour ne pas comm<strong>et</strong>tre d’erreur sur l’interprétation desrésultats. L’obj<strong>et</strong> de c<strong>et</strong>te partie est donc de donner des éclairages qui nous semblent pertinents pour lechoix de la modélisation adéquate.5.2. Prédictions <strong>et</strong> précisionsLa prédiction <strong>et</strong> la précision de la TCAD sont des problèmes qu’il est nécessaire de soulever. En eff<strong>et</strong>,que penser lorsqu’une simulation d’une caractéristique I(V) représente parfaitement les mesuresexpérimentales ? Est-ce dû à une modélisation excellente, où à un simple calibrage. Il y a alors risqueimportant de se méprendre sur la pertinence de la modélisation si le calibrage n’est pas expliqué ainsi qu<strong>et</strong>outes les approximations physiques sous-jacentes. Ainsi, la qualité de la réponse dépend de la précisionque vous souhaitez <strong>et</strong> de la gamme de validité de la solution. Les questions à se poser sont donc [104]:• Quelle est la modélisation appropriée face à mon problème ?• Quelles sont les approximations possibles que je peux effectuer ?• Quelle est la précision souhaitée?• Quelle est la gamme de validité de ma réponse ?Par conséquent, il est nécessaire de connaître les compromis, les avantages <strong>et</strong> inconvénients de chaquemodélisation.5.3. Compromis en TCADLes outils TCAD possèdent une interface <strong>et</strong> des outils adaptés à l’exploitation des résultats. L’utilisateurpeut créer son plan d’expérience <strong>et</strong> obtenir la surface de réponse associée pour optimiser une technologie.Traditionnellement un plan d’expérience est réalisé avec le modèle Dérive-Diffusion sur les implantationssource drain <strong>et</strong> extensions pour optimiser le I ON /I OFF en gardant un bon contrôle <strong>du</strong> DIBL (

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