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etude theorique et experimentale du transport electronique ... - Ief

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Chapitre IV : Modélisation analytique <strong>du</strong> <strong>transport</strong> quasi balistique4.4. Calcul de la charge en haut de la barrière4.4.1. Intro<strong>du</strong>ctionDans la modélisation « classique », le courant est le pro<strong>du</strong>it de la charge moyenne <strong>et</strong> de la vitessemoyenne. Dans la théorie de Landauer, le courant est le pro<strong>du</strong>it de la charge <strong>et</strong> de la vitesse en haut dela barrière de potentiel. La vitesse d’injection a été modélisée précédemment, mais la charge en hautde la barrière demande une attention toute particulière également. Un schéma de réflexion va être iciproposé. Faute de temps, une modélisation complète <strong>et</strong> rigoureuse n’a pas été effectuée. Cependant, cequi suit va perm<strong>et</strong>tre d’appréhender les problèmes liés à la détermination de Q top . Pour calculer c<strong>et</strong>techarge, la théorie sur le calcul des eff<strong>et</strong>s canaux courts va être reprise <strong>et</strong> améliorée.4.4.2. RappelsLorsque la longueur L elec <strong>du</strong> canal <strong>du</strong> transistor diminue, plusieurs eff<strong>et</strong>s viennent perturber lefonctionnement <strong>du</strong> transistor MOS dans le régime sous le seuil. Lorsque la longueur de la grilledevient comparable à la longueur l ZCE des zones de charge espace autour de la source <strong>et</strong> <strong>du</strong> drain, lepotentiel dans le canal est fortement diminué comme illustré sur la Figure IV- 44. La tension de seuildiminue alors car la barrière de potentiel est abaissée ou, vu d’une autre façon, la déplétion desjonctions à la source <strong>et</strong> au drain ne peut plus être négligée pour le calcul <strong>du</strong> dopage moyen dans lecanal. C<strong>et</strong> eff<strong>et</strong> est appelé « Short Channel Effect » (SCE). De plus lorsque le drain est polarisé, sonaction se rajoute pour abaisser à nouveau la barrière de potentiel : C’est l’eff<strong>et</strong> DIBL (« Drain In<strong>du</strong>cedBarrier Lowering »). (Figure IV- 45)Figure IV- 44: Comparaison <strong>du</strong> potentiel dans untransistor où la longueur électrique est grande <strong>et</strong> p<strong>et</strong>itedevant les longueurs de zone de charge espace.Figure IV- 45: Comparaison <strong>du</strong> potentiel dans un transistor oùla polarisation <strong>du</strong> drain est nul ou à l’état ON sur des dispositifoù les longueurs de zone de charge espace sont <strong>du</strong> même ordrede grandeur que la longueur électrique.La mesure de SCE s’effectue en comparant la tension de seuil d’un grand dispositif <strong>et</strong> à celle <strong>du</strong>transistor que l’on souhaite étudier. Ceci à V DS =0. La mesure <strong>du</strong> DIBL s’effectue en comparant latension de seuil à V DS =0 <strong>et</strong> V DS = V dd . Pour déterminer ces valeurs SCE <strong>et</strong> DIBL, la théorie « DopingVoltage Transformation » est utilisée [35]. C<strong>et</strong>te méthode est très rapide <strong>et</strong> très astucieuse. Enreprenant l’équation de Poisson :∂ Ψ∂ ΨqN2 22ch∇ Ψ ( x, y)= + =2 2∂x ∂ y εSiIV- 50- 154 -

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