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PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

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tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012<br />

6.2 . MODE DE MICROCAVITÉ GUIDÉ PAR LA GÉOMÉTRIE DU MÉTAL<br />

comparable à l’énergie de la transition inter-sous-bande.<br />

6.2 Mode de microcavité guidé par la géométrie du métal<br />

Les microcavités étudiées dans ce chapitre sont de forme circulaire.<br />

Généralement pour ce type de cavité le mode optique est confiné par réflection<br />

totale interne sur les parois de la cavité circulaire (cf schéma 6.1).<br />

Il a été montré expérimentalement tant dans l’infrarouge moyen [92] que<br />

dans le THz [93, 94, 95] que ce type de cavité peut effectivement être<br />

utilisé pour les lasers à cascade quantique.<br />

FIG. 6.1: Confinement du mode dans une micro-cavité circulaire<br />

whispering gallery. L’onde se réfléchit sur les parois par réflexion totale.<br />

Pour ce type de cavité il est nécessaire que les parois de la cavité<br />

circulaire aient une faible rugosité. Il est possible de s’affranchir de cette<br />

contrainte technologique en utilisant la réflectivité induite par le métal (que<br />

nous avons définie au chapitre précédent) pour guider le mode optique.<br />

Pour cela la cavité doit utiliser un guide double métal, où la structure de la<br />

métallisation supérieure (top metal) va définir la cavité (cf schéma 6.2).<br />

Top metal<br />

Bottom<br />

metal<br />

FIG. 6.2: Confinement du mode dans une micro-cavité circulaire définie<br />

par le métal supérieur. La partie grise correspond à la région<br />

active du laser, et celle jaune correspond au métal. Dans ce cas le<br />

mode est confiné latéralement grâce aux propriétés de guidage induite<br />

par le métal.<br />

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