PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012
ANNEXES.
échantillon
Polissage mécanique
+ gravure sélective
(acide citrique)
Substrat
Stop layer
Couche Dopée 2
Région active
Couche Dopée 1
Substrat GaAs dopé
Métalisations (Ti/Au)
Gravure sélective
(HF)
wafer bonding
FIG. A.2: Étapes de fabrication pour un dispositif en guide métal métal
(partie 1). La première étape de la fabrication consiste à métalliser
l’échantillon, ainsi qu’un substrat. Ensuite grâce à la thermocompression,
les deux parties sont soudées l’une sur l’autre. Le substrat de
l’échantillon initial est alors retiré en deux temps : on commence par
l’amincir par un polissage mécanique, et ensuite avec une solution
d’acide citrique, on va graver le reste du substrat. La gravure s’arrête
sur le stop layer. Celui-ci est ensuite retiré avec de l’acide fluoridrique.
L’échantillon est alors prêt pour la construction des dispositifs.
233