PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012
CHAPITRE 6 . MICROCAVITÉ
(a)
(b)
z
y
x
Top Contact
n+ layers
Active
Region
n+ layers
Bottom contact
GaAs substrate
6 m
y
[011]
x
[011]
FIG. 6.3: (a) Image MEB (microscopie électronique à balayage) des
micro-disques fabriqués. Les bords ne sont pas verticaux et leurs inclinaisons
dépendent de l’orientation cristalline comme il est montré
dans le schéma en haut à droite. (b) Schéma de la géométrie des
dispositifs, le métal supérieur ne couvre pas toute la surface du résonateur.
Les rayons des micro-disques sont de 32/45/95 µm et les
rayons du métal sont de 25/37.5/87.5 µm.
Expérimentalement la couche dopée sur le bord de la cavité a été enlevé
en utilisant une gravure humide (solution d’acide sulfurique). Le métal
supérieur servant de masque. Cette technique ne peut pas être utilisée
pour graver toute la microcavité, mais convient parfaitement pour enlever
les 200 nm de la couche de contact. Une fois que la couche dopée sur le
bord de l’échantillon est gravée les dispositifs lasent.
6.4.2 Micro-disque laser
Les résultats expérimentaux des mesures sur les micro-disques lasers
sont présentés dans la figure 6.5. Du fait de la faible puissance électrique
injectée, les seuils lasers sont quasiment identiques en mode pulsé et en
mode continu. En pulsé la température maximale est de 70 K et 60 K en
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