PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012
Litho. Optique
+ gravure (H 2 SO 4 )
Litho optique
+ métallisation
(Ni/Au/Ge/Ni/Au)
+ lift off
+recuit rapide
Litho optique
+ métallisation
(Ti/Au)
+ lift off
Pollisage
mécanique
+ métallisation
(Ti/Au)
A.2 . BANC DE MESURE OPTIQUE
Couche Dopée 1
Région active
Couche Dopée 2
Stop layer
Substrat
FIG. A.1: Étapes de fabrication pour un dispositif en guide plasmonique.
La première étape consiste à graver le semiconducteur,
ensuite on dépose du métal pour le contact inférieur, qui grace à un
recuit va diffuser jusqu’à la couche dopée pour faire un contact ohmique.
Ensuite le métal est déposé sur le dessus du ruban. Enfin le
substrat est amincit, et il est métallisé.
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