PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012
TABLE DES MATIÈRES
8.4.6 Champ lointain des dispositifs avec un π shift . . . . 224
8.4.7 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
8.5 Conclusion des CPs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
Conclusions et Perspectives 228
A Annexes 230
A.1 Procédés de fabrication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230
A.1.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230
A.1.2 Lithographie optique . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230
A.1.3 Gravure humide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230
A.1.4 Métallisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
A.1.5 Lift off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
A.1.6 Report de substrat (wafer bonding) . . . . . . . . . . 231
A.1.7 Laser à guide plasmonique . . . . . . . . . . . . . . 232
A.1.8 Laser à guide métal métal . . . . . . . . . . . . . . . 232
A.1.9 Montage des échantillons . . . . . . . . . . . . . . . 232
A.2 Banc de mesure optique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232
Publications et distinctions relatives à cette thèse 237
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