PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012
Gravure du guide
(H 2 SO 4 )
métallisation
(Ti/Au)
Pollisage
mécanique
+ métallisation
(Ti/Au)
A.2 . BANC DE MESURE OPTIQUE
FIG. A.3: Étapes de fabrication pour un dispositif en guide métal métal
(partie 2). Une fois le report de substrat effectué (cf fig. A.2), nous
définissons la géométrie du guide, en utilisant une gravure humide
(acide sulfurique), jusqu’au métal enterré. On dépose alors du métal
(Ti/Au) sur la surface de l’échantillon, afin de construire le guide métal
métal. Afin de pouvoir monter les échantillons, nous polissons la
face arrière, plus nous la métallisons.
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