PHOTONIQUE POUR LES LASERS À CASCADE QUANTIQUE ...

tel-00740111, version 1 - 9 Oct 2012
ANNEXES.
A.1.7 Laser à guide plasmonique
Les étapes de fabrication d’un laser en guide plasmonique sont décrites
de manière succincte dans la figure A.1.
A.1.8 Laser à guide métal métal
La fabrication en salle blanche pour ce type de résonateur est décrite
dans les figures A.2 et A.3.
A.1.9 Montage des échantillons
Une fois que la fabrication des dispositifs en salle blanche est achevée,
les échantillons sont clivés puis montés sur une embase de cuivre, recouverte
d’indium. En chauffant l’indium fond et produit un alliage avec l’or
présent sur la face arrière, qui permet de coller durablement l’échantillon
à l’indium. Il faut monter les échantillons avec de l’indium, et non pas de
la colle, afin de permettre une bonne évacuation de la chaleur, ainsi qu’un
contact électrique.
Une fois monté les échantillons sont micro-soudés avec des fils d’or
(wire bonding).
A.2 Banc de mesure optique
Pour obtenir les caractérisations électro-optiques nous utilisons le banc
de mesure décrit dans la figure A.4.
L’échantillon est placé dans un cryostat, où il est refroidit à l’azote liquide
ou à l’helium liquide. L’échantillon est placé dans le foyer d’un miroir
parabolique, le faisceau en sortant sera ainsi parallèle. Grâce à un
deuxième miroir parabolique, le faisceau se focalise en un point situé
quelques centimètres avant le spectromètre. Il est nécessaire d’entrer de
manière divergente dans le spectromètre à cause des spécificités de celuici
(Bruker IFS66).
Le spectromètre consiste en un interféromètre de Michelson, dont un
des bras a une longueur variable. Le signal optique obtenu en fonction
de la position du miroir amovible sera alors la transformée de Fourier du
spectre optique.
Afin de mesurer le signal optique, deux détecteurs sont utilisés, soit le
détecteur interne du spectromètre ( DTGS FAR-IR), soit un bolomètre Si
refroidit à 4 K.
231