Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

6.3 Insel-Insel-Korrelation 101
winkeln von 0.40° und 0.19° gearbeitet. 44 Beide Verteilungen zeigen übereinstimmend an den
gleichen Stellen Korrelationspeaks in den 〈110〉 und 〈100〉 Richtungen, deren Positionen in Tab. 6-1
zusammen mit den Ergebnissen aus den Weitwinkelbeugungsexperimenten aufgelistet sind.
[110]
5 µm
Abb. 6-24: AFM Bild der Probe 1082 mit einem nominellen Ge-Gehalt von 30%.
Die Inseln ordnen sich in einem teilweise verzahnten System an, so dass einzelne
Solitärketten (S) entlang der 〈100〉 Richtungen neben Bereichen, in denen es zu
einem 2-dimensional geordneten Inselmuster (F) kommt, existieren. Dabei ist der
Abstand innerhalb der Ketten vergleichbar mit dem Abstand der Inseln innerhalb von
Gebieten, in denen eine Verzahnung vorliegt.
Dabei fällt auf, dass sich die aus dem Powerspektrum und GISAXS ermittelten Werte in Bezug auf
die beiden ausgezeichneten Richtungen 〈110〉 und 〈100〉 nahezu decken, wohingegen das Ergebnis
der Weitwinkelbeugung sich nur in der 〈100〉 Richtung richtig einordnet. Der HRXRD-Wert ent-
lang 〈110〉 ist um den Faktor 2 kleiner als die vergleichbaren PS- und GISAXS-Werte. Auf diesen
Unterschied wurde bereits in Kap. 6.2.1 hingewiesen. Die Erklärung für die Diskrepanz findet sich
im experimentellen Auflösungselement bei der Weitwinkelbeugung. Senkrecht zur Beugungsebene
wurde über einen Bereich von 0.006Å -1 integriert. Verdeutlicht man sich das in Abb. 6-25, so wird
klar, dass man bei der Messung entlang 〈110〉 über die ersten Korrelationspeaks entlang 〈100〉
integriert. Diese werden auf die Beugungsebene projiziert und führen zu dem (auf den ersten Blick
verwirrenden) Ergebnis, dass die Korrelationspeaks in den Beugungsexperimenten entlang 〈110〉
um den Faktor 2 dichter liegen als entlang 〈100〉, denn in der [100]-Zone führt die Projektion auf
die Beugungsebene zu keinen künstlichen Satelliten. Die Lage stimmt mit den PS- und GISAXS-
Werten überein. Abgesehen von diesem auflösungsbedingten Artefakt sind alle Werte in Tab. 6-1
innerhalb kleiner Grenzen konsistent. Über (6-2) erhält man mittlere Insel-Insel-Abstände
d〈110〉 = 225 nm und d〈100〉 = 306 nm, welcher sehr genau dem 2 -fachen des Wertes entlang 〈110〉
44 Damit verbunden ist eine außermittige Rotation des Detektors um die Position q=0, deren Einfluß jedoch vernachlässigt werden
kann. Für den konkreten Fall: αi=0.40° und αf=0.19° ergibt sich eine laterale Abweichung vom Zentrum über 2π/λ(cos αi- cos
αf) von etwa 7×10 -5Å.
F
S