Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

6.2 Deformationsfelder und Konzentrationsverlauf in SiGe Inseln 77
aus den Messungen quantitative Schlußfolgerungen nur mit Hilfe entsprechender Simulationen
gewinnen. In Kap. 6.2.2 wird anhand von kinematischen Streusimulationen ausführlich der Einfluß
der verschiedenen Größen auf die verschiedenen Teile des Beugungsbildes diskutiert.
log (I)
1.5
1.0
0.5
0.0
-0.5
P
q 001 =4.561 A -1
q 001 =4.525A -1
K
CTR
G G
-1.0
-0.06 -0.04 -0.02 0.00 0.02 0.04 0.06
q 110 [A -1 ]
Abb. 6-5: Zwei Schnitte durch die Verteilung in Abb. 6-4 bei konstantem q 001
durch das Maximum der Korrelationspeaks (obere Kurve) bei q 001=4.561Å -1 und
bei q 001=4.525Å -1 (untere Kurve). In Abhängigkeit von q 001 lassen sich die zum
Signal beitragenden Komponenten gut trennen. Die Korrelationspeaks (K) sind
insbesondere in der Nähe des kohärenten CTRs stark, für größere laterale
Impulsüberträge (A) bestimmt ein Wechselspiel aus Inselform und Deformation die
Form der diffusen Intensität. In der unteren Kurve treten Oszillationen (G) auf, die
durch die begrenzte Inselgröße entstehen. Das Intensitätsmaximum (P) ist ein
Artefakt, der durch starke Einstreuung bei Erfüllung der exakten Braggbedingung
auftritt. Die Auflösung entlang q 110 reicht mit etwa 4×10 -4 Å -1 aus, siehe (4-8), um
die Korrelationspeaks (K) getrennt aufzulösen.
Abb. 6-6 zeigt die diffuse Intensität in einem um 45° gedrehten Schnitt, entlang der Inseldiagonalen.
Auch hier wurde auf die Erfassung des Substratreflexes verzichtet und nur die an den
Inseln diffus gestreute Intensität vermessen, die in ihrer Form in vielen Punkten mit der vorher
gezeigten übereinstimmt. Der Artefakt (P) entsteht wie in der vorangestellten Messung durch starke
Streuung bei Erfüllung der exakten Bragg-Position für das Substrat. Nicht in jedem Fall läßt sich
die Verwendung verschiedener Absorber restlos normieren. Deshalb kommt es im linken Teil des
Bildes zu einer Streifenstruktur. Im Unterschied zu Abb. 6-4 wird die flügelartige Intensitätsverteilung
(M0) nicht durch die {111}-Inselfacetten überlagert, sondern ist, wie im folgenden gezeigt
wird, hauptsächlich 32 durch das Deformationsfeld im Inneren der Inseln bestimmt. Aufgrund der
größeren lateralen Ausdehnung der Inseln entlang ihrer Diagonalen, wird die Struktur im
32 In Kap. 6.2.2.5 wird am Beispiel einer weiteren Probe mit etwas kleineren Inseln demonstriert, dass die Verteilung (M0) neben der
Deformation auch einen gewissen Einfluß der Inselgröße spürt und sich bei forminvarianter Größenreduktion zu größeren
lateralen Impulsüberträgen verschiebt. Darüber hinaus ist der 45° Winkel, unter dem (M0) gegen den CTR verläuft, ein Indiz für
einen Formeinfluß, das auf verbreiterte 〈101〉 Kanten hindeutet. An vergleichsweise großen Inseln mit einem Ge-Gehalt von 10%
konnte eine solche Zersplitterung der 〈101〉 Kanten explizit mittels SEM nachgewiesen werden, siehe Kap.2.4.1.
A