Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

6.2 Deformationsfelder und Konzentrationsverlauf in SiGe Inseln 81
Maximums (ku) läßt sich auf eine mittlere Deformation in den Inseln von 1.25 % schließen. Die
vertikalen Schichtdickenoszillationen (v), die sich besonders sensitiv auf das Aspektverhältnis
Basisbreite/Höhe der Insel erweisen werden, verlaufen unter einem Winkel von 45° gegen die
Oberflächennormale und stehen damit nicht senkrecht auf der Linie zum Ursprung. Da der -404
Reflex in der [100]-Zone liegt, würde man auch hier Korrelationspeaks erwarten. Durch den sehr
kleinen Austrittswinkel in Messung (A) bedingt, gehen in den Gebieten, in denen starker Absorber
eingesetzt werden, also in der Umgebung des CTR, vergleichsweise schwache Oszillationen
verloren. Die diffuse Intensität in Abb. 6-9B wurde zum einen bei einem größeren Austrittswinkel
zum anderen ohne Substrat an Probe 1005x gemessen. Beide Umstände machen die genauere
Untersuchung der unmittelbaren Umgebung des CTR möglich, und in der Tat treten die erwarteten
Korrelationspeak (K) zu beiden Seiten des CTR auf. Von bestimmten Unterschieden abgesehen,
die hauptsächlich durch die verschiedenen Inselgrößen beider Proben herrühren, sind die beiden
Beugungsbilder sehr ähnlich. Insbesondere erkennt man, dass der Ge-Gehalt der Inseln bei Probe
1005x größer sein muß, da das Maximum (ku) der Streuung an den relaxierten Bereichen näher am
Ursprung liegt.
-1
q 001 [A ]
4.65
4.60
4.55
4.50
4.45
0
A
CTR
S
-4.65 -4.60 -4.55 -4.65 -4.60 -4.55
-1 -1
q 100 [A ]
q 100 [A ]
v
ku
P
K
v
0
B
3
2
1
0
-1
log (I)
Abb. 6-9: 2-dimensionale Intensitätsverteilung in der Nähe des asymmetrischen -404
Gitterpunktes - Probe 1082 (A) und Probe 1005x (B). Die Streuung an den nahezu
vollständig relaxierten Bereichen der Insel führt zu den Maxima (ku) in radialer
Richtung vom Substrat. Es kommt zu vertikalen Schichtdickenoszillationen (v), die,
wie sich in den Simulationen zeigen wird, besonders empfindlich auf das Verhältnis
von lateraler Inselbreite zu -höhe sind. In (A) beträgt der Austrittswinkel für den
Substratreflex (S) etwa 1.5°, so dass die Korrelationspeaks in der Nähe des CTR
durch Absorberartefakte verdeckt werden. In (B) dagegen wurde die Wellenlänge so
gewählt, dass der Austrittswinkel 8.5° beträgt, wie man an der Neigung des Streuartefaktes
(P) gegen den CTR erkennt. Unter diesen Umständen ist es möglich, die
Korrelationspeaks (K) aufzulösen.