Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

6.4 Beugung unter kleinen Einfalls- und Austrittswinkeln: Grenzen der kinematischen Beugung 113
α i=0.1°) über einen Bereich, in dem dieses in mehrere Peaks aufspaltet, 48 zu einer Position bei etwa
q radial=3.253Å -1 . Rein qualitativ läßt sich dieses Verhalten mit der zunehmenden Eindringtiefe und
damit einem stärker werdenden Beitrag der unteren und damit stärker deformierten Inselbereiche
erklären.
Die vorangestellten GID Messungen und Simulationen beziehen sich auf einen Reflex innerhalb
der [110]-Zone. Bereits in den Experimenten zur Weitwinkelbeugung wurde deutlich, dass der
deformationsbedingte Anteil zur Streuung von Abbrucheffekten an den Facetten überlagert ist, die
darüber hinaus noch von Dickenoszillationen in lateraler und vertikaler Richtung überlagert sind
(siehe z.B. Abb. 6-8). Abb.6-36 zeigt dagegen die von Formeinflüssen dieser Art kaum beeinflußte
out-of-plane Intensitätsverteilung in radialer Richtung in der Umgebung des 400-Gitterpunktes. Das
Fehlen von ausgeprägten Facettenrods macht (im Gegensatz zum 220-Reflex) die experimentelle
Beobachtung des Intensitätsmaximums (P) möglich, das wie schon in der Simulation des 220-
Reflexes eine relative laterale Verschiebung von 1.1% gegenüber dem Substratreflex aufweist.
Die angeführten Beispiele ebenso wie die Befunde der Kleinwinkelstreuung belegen, dass über
qualitative Aussagen hinaus, eine rein kinematische Sicht der Beugung die Streuung nur
unzureichend wiedergibt und zur detaillierten Beschreibung z.B. DWBA angewandt werden muß,
wofür sich das System SiGe/Si mit seiner hohen Perfektion als ideales Modellsystem zum Test
einer solchen Theorie anbietet. Mittlerweile gibt es hierzu erste Ergebnisse, deren Diskussion
allerdings den Rahmen dieser Arbeit sprengen würde.
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Abb.6-35: Radiale Intensitätsverteilung in der Nähe des 220 Gitterpunktes für
Einfallswinkel zwischen 0.1° und 1°. Die Intensität wurde entlang q 001 über einen
Bereich von etwa 0.15Å -1 integriert. Die blaue Kurve entspricht der aus Abb.
6-34A. Bei sehr kleinen Eintrittswinkeln tragen die komprimierten Bereiche des
48 Die Abfolge mehrerer starker Facettenrods verursacht diese Oszillationen, siehe Abb. 6-34A.
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