Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

104 6 SiGe/Si Inselstrukturen
lationspeaks (K 100) treten hier auch Maxima (K 110) entlang 〈110〉 auf. Der
spekulare Strahl wurde durch einen Absorber (Ab) stark geschwächt.
Die in GISAXS Geometrie bei Ein- und Austrittswinkeln von 0.19° und 0.36° aufgenommene
Intensitätsverteilung in Abb. 6-27B bestätigt diesen Befund. Darüber hinaus treten hier jedoch
auch Korrelationspeaks (K 110) entlang 〈110〉 auf. Die Ergebnisse aus Powerspektrum, GISAXS und
Weitwinkelbeugung sind in Tab. 6-2 zusammengefaßt.
〈110〉 〈100〉
∆q HRXRD 0.0020Å -1 0.0033Å -1
∆q PS - 0.0021Å -1
∆q GISAXS 0.0039Å -1 0.0032Å -1
Tab. 6-2: Probe 1005x. Gemessene Lage der Korrelationspeaks entlang 〈110〉 und
〈100〉 in Weitwinkelbeugung, Kleinwinkelstreuung und Powerspektrum. Die Angaben
bei PS und GISAXS verstehen sich als grobe Abschätzung, da eine genaue
Bestimmung der Lage nicht möglich ist.
Zunächst fällt auf, dass auch hier die Integration senkrecht zur Beugungsebene bei HRXRD
innerhalb der [110]-Zone zu etwa 2 -kleineren Abständen führt als innerhalb der [100]-Zone.
Erstaunlich hingegen ist, dass abgesehen von dieser Projektion sowohl in GISAXS als auch in
HRXRD in 〈110〉 Richtung überhaupt Korrelationspeaks auftreten, 45 da diese im Powerspektrum
gänzlich fehlen. Daraus läßt sich schlußfolgern, dass die gezeigte Oberflächenmorphologie, wie sie
mittels AFM lokal bestimmt wurde und damit Grundlage des Powerspektrum ist, zumindest für
einige Probenbereiche untypisch sein muß. Das erklärt auch die mit HRXRD und GISAXS be-
stimmten Werte in 〈100〉 Richtung, die um den Faktor 1.5 von der Peakposition im Powerspektrum
abweichen.
6.3.2 Berücksichtigung von Ordnung in Simulationen
Der hochgradig geordnete Inselverband der Probe 1082 erweist sich als das perfektere und damit
geeignetere Objekt, um an ihm den Einfluß von Korrelation auf die diffuse Intensität genauer zu
untersuchen. Im folgenden wird eine Methode vorgestellt, die laterale Korrelation der Inseln in
Simulationen der diffusen Intensität in der Nähe symmetrischer Reflexe zu berücksichtigen. Dabei
dient das System SiGe/Si als ein Modellsystem, an dem ausgezeichnet getestet werden kann, in
welcher Form die Mittelung in der Korrelationsfunktion G(q), siehe (5-28), zu erfolgen hat, da die
begrenzte experimentelle Kohärenzlänge ein differenzierteres Bild erzwingt. Während man für die
Fouriertransformation der Inselpositionen aus AFM im Prinzip ein beliebig großes Ensemble
heranziehen kann, bewirkt die begrenzte experimentell realisierte Kohärenz den Verlust der
Phaseninformation auf Längenskalen jenseits der Kohärenzlänge. Dies kann in den Simulationen
durch eine kohärente Aufsummation über Bereiche, die einer kohärenten Strahlung ausgesetzt sind
45 Neben der Projektion existiert mindestens eine Ordnung „echter“ Korrelationspeaks in 〈110〉 Richtung.