Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

42 3 Beugung von Röntgenstrahlen
direkt bestätigt werden. Bei Erhöhung des Einfallswinkels verkleinert sich die projizierte
Kohärenzlänge, so dass die Beugungsordnungen bei immer kleineren d eff verschwinden.
L T
L L
Kohärenzvolumen
α i
L/
T sin α i
L/cos
L α i
Abb. 3-3: Entscheidend für den Streuprozeß sind die kohärent ausgeleuchteten
Gebiete auf der Probe, mithin die Projektionen L T/sin α i und L L/cos α i. Für sehr
kleine Einfallswinkel kann die Projektion der transversalen Kohärenzlänge sehr
große Werte annehmen.
Für die hochaufgelöste Beugung spielen die Projektionseigenschaften der Kohärenzlänge jedoch
nur eine untergeordnete Rolle. In Kap. 6.3 wird zur Beschreibung der Streuung an SiGe Inselensembles
eine modifizierte in-plane Korrelationsfunktion konstruiert, die die endliche Kohärenzlänge
durch eine phasengerechte Summation der Streubeiträge innerhalb kohärent beleuchteter
Gebiete berücksichtigt. Auf größeren Längenskalen besteht zwischen den Phasen der gestreuten
Wellen keine feste Beziehung, so dass die Summation nur über Intensitäten - ohne Phaseninformation
- erfolgt.