Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

102 6 SiGe/Si Inselstrukturen
entspricht, so dass man auch über Bereiche von mehreren mm 2 von einem sehr hohen Maß an
Verzahnung der Ketten ausgehen kann.
-1
q [-110] [A ]
0.004
0.002
0
-0.002
-0.004
6.3.1.2 Solitärketten
A
K 100
K 110
Ab B
-0.004 -0.002 0 0.002 0.004 -0.004 -0.002 0 0.002 0.004
-1
q [110] [A ]
-1
q [110] [A ]
Abb. 6-25: (A) Powerspektrum (6-3) des Höhenprofils aus Abb. 6-24 und (B)
Schnitt durch die diffus gestreute Intensität in der Nähe des reziproken Ursprungs
gemessen in GISAXS Geometrie. Die Anordnung der Inseln in Ketten führt in
beiden Fällen zu ausgeprägten Korrelationspeaks (K 100) entlang der 〈100〉
Richtungen. Darüber hinaus existiert durch die Verzahnung der Ketten ein ausgezeichneter
Abstand entlang 〈110〉, der zu zusätzlichen Korrelationspeaks (K 110) in
diesen Richtungen Anlaß gibt. Der spekulare Strahl wurde durch einen Absorber
(Ab) stark gedämpft.
∆q HRXRD 0.0014Å -1
∆q PS 0.0027Å -1
∆q GISAXS 0.0028Å -1
〈110〉 〈100〉
0.0022Å -1
0.0020Å -1
0.0021Å -1
Tab. 6-1: Probe 1082. Gemessene Abstände der Korrelationspeaks untereinander
entlang der 〈110〉 und 〈100〉 Richtung in Weitwinkelbeugung (HRXRD), Kleinwinkelstreuung
(GISAXS) und im Powerspektrum (PS).
3.8
3.6
3.4
3.2
3.0
2.8
2.6
2.4
log (I)
In Abb. 6-26 ist die Oberflächenmorphologie der Probe 1005x mit nominell 30% Germanium
abgebildet. Auch hier wurde die Höhenskala so gewählt, dass nur Teilgebiete, die sich mindestens
10 nm über die Substratoberfläche erheben, als schwarze Objekte sichtbar sind. Wie in Abb. 6-24
kommt es zur Ausbildung von Inselketten entlang 〈100〉 allerdings mit einem kleineren mittleren
Insel-Insel-Abstand
AFM
d I −I
100 von 195 nm und dem Unterschied, dass sich fast alle Inseln genau
einer Kette zuordnen lassen. Ein Verzahnen der Ketten liegt hier nicht vor. Als charakteristische
Länge in den AFM Bildern taucht zusätzlich der Abstand der Ketten untereinander
der naturgemäß deutlich größer als
AFM
d I −I
AFM
d 100 K −K
auf,
100 sein muß und darüber hinaus eine breitere Verteilung