Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

6.3 Insel-Insel-Korrelation 105
und einer anschließend inkohärenten Summation der aus diesen Gebieten stammenden Intensitäten
modelliert werden.
Gleichung (5-31) macht ganz allgemein eine Aussage über die an einem Inselverbund gestreuten
Amplituden. Nimmt man zunächst eine perfekt kohärente Quelle an, so bestimmt sich die totale
total
diffus gestreute Intensität I (q)
als kohärente Summation der Amplitude Adiffus(q) über die In-
diffus
selpositionen R m. Die zugrundegelegten Amplituden stammen von der bereits mehrfach verwendeten
durch {111} Seitenfacetten und eine (001) Deckfacette begrenzten Einzelinsel mit einer
Basisbreite von 130 nm bei 65 nm Höhe des Stumpfes (siehe Abb. 6-19A), so dass das dort in
Teilbild B gezeigte Intensitätsmuster in den folgenden Simulationen als Hintergrundmuster stets
enthalten ist.
[100]
q [A ]
-1
001
4.58
4.56
4.54
A B
4.52
Sp
-0.02 0.00
-1
q 100 [A ]
0.02
Abb. 6-28: (A) Inselensemble bestehend aus 33 Inseln auf einer Fläche von
5×5 µm 2 . (B) Simulierte diffus gestreute Intensität in der Nähe des 004 Gitterpunktes
innerhalb der [100]-Zone, bei der kohärent über die gezeigten Inselpositionen
summiert wurde. Zur Berechnung der an einer Einzelinsel gestreuten Amplituden
liegt das in Abb. 6-19 gezeigte Modell mit 130 nm Basisbreite bei 65 nm Höhe
zugrunde. Kohärente Summationen der Amplituden über 2, 4, 33, 231 und 1094
Inselpositionen erzeugen deutliche Speckle-Muster.
11
10
9
8
log (I)
In Abb. 6-28A ist ein 5×5 µm 2 großer Ausschnitt der Probenoberfläche gezeigt, der 33 Inseln
enthält. Eine kohärente Summation für die gestreute Intensität:
[ iqR
]
2
total
I diffus ( q ) = ∑ Adiffus
( q)
exp m
(6-4)
∈
m En
über die dargestellten Positionen führt auf das Beugungsbild in Abb. 6-28B, das zwar das
Grundmuster der Streuung einer Einzelinsel noch erkennen läßt, jedoch von einem ausgeprägten