Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

6.3 Insel-Insel-Korrelation 103
aufweist. Einen ausgezeichneten Abstand in 〈110〉 Richtung kann es aufgrund der überwiegenden
Anordnung in Solitärketten nicht geben. Dies äußert sich im Powerspektrum Abb. 6-27A, im
Fehlen entsprechender Korrelationspeaks in 〈110〉 Richtung. Infolge der Existenz zweier
charakteristischer Längen (Intra- und Interkettenabstand) entlang 〈100〉, erscheinen dagegen die
Korrelationspeaks entlang 〈100〉 in ihrer Ausdehnung stark verschmiert, was eine quantitative
Analyse erschwert.
d 100 I-I
d 100 K-K
q [A ]
-1
[110] 1 µm [110]
5 µm
A B
Abb. 6-26: Zwei AFM Topologien der Probe 1005x mit nominellem Germaniumgehalt
von 30%. (A) Die Inselketten (teilweise hervorgehoben) sind nicht verzahnt,
sondern existieren unabhängig. (B) 20×20 µm 2 Ausschnitt der Probenoberfläche, in
dem ebenfalls keine verzahnten Ketten zu finden sind. Faltung mit der AFM-Spitze
suggeriert den falschen Eindruck von elliptischen Objekten mit großer Ausdehnung in
[110] Richtung.
[-110]
0.006
0
-0.006
-0.006
0
-1
q [110] [A ]
A
0.006
Fo
K 100
K 110
Ab B
-0.006
0
-1
q [110] [A ]
0.006
4.8
4.3
3.8
log (I)
Abb. 6-27: (A) Powerspektrum des Höhenprofiles aus Abb. 6-26. Aufgrund der
fehlenden Verzahnung der Inselketten im betrachteten Gebiet gibt es nur
Korrelationspeaks (K 100), die im Gegensatz zu Probe 1082 eine deutliche Verbreiterung
aufweisen. In Abb. 6-26 täuscht die Faltung mit der AFM-Spitze einen
elliptischen Grundriß der Inseln vor. Dieser verursacht im PS eine Stauchung entlang
[110] (Fo). (B) zeigt einen Schnitt durch die diffus gestreute Intensität in der Nähe
des reziproken Ursprunges gemessen in GISAXS Geometrie. Neben den Korre-