Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

4.1 Streugeometrien 45
einer Komponente Q x symmetrische, bei denen diese verschwindet, und asymmetrische Reflexe. 10
Mit der Kleinwinkelstreuung unter kleinem Ein- und Austrittswinkel 11 tastet man die unmittelbare
Umgebung des reziproken Ursprungs (000) ab. Die Beugung unter streifendem Ein- und Austritt 12
stellt die extremste Form nicht-komplanarer Beugung dar. Der Beugungsvektor besitzt eine große
laterale Komponente bei fast verschwindendem vertikalen Impulsübertrag. Dies umfaßt die Menge
der Gitterpunkte (hkl) mit l=0 und h>0 oder k>0, von denen jene des Typs {220} grün in Abb. 4-2
eingezeichnet sind.
Hochaufgelöste (Weitwinkel-)
röntgenbeugung (HRXRD)
Kleinwinkelstreuung bei kleinem
Ein- und Austrittswinkel (GISAXS)
Beugung bei kleinem Ein- und
Austrittswinkel (GID)
220
220 [001]
004
000
(i)
(ii)
113
220
220
[ 110]
[110]
Abb. 4-2: Im reziproken Raumes definieren die SiGe Inseln auf Si(001), mit ihrer
kristallographischen Orientierung zwei ausgezeichnete Beugungsebenen, die beispielhaft
in der Nähe des 004 Gitterpunktes eingezeichnet sind: (i) aufgespannt durch
[001] und [110] bzw. (ii) durch [001] und [100] .
Die zunächst gemachte Voraussetzung eines divergenzfreien Primär- und gestreuten Strahles, führt
zu der Idealvorstellung, dass der Aufpunkt von Q nur auf einen einzigen durch K 0 und K S wohldefinierten
Punkt im reziproken Raum zeigt. Das ist insofern vereinfacht, als dass aufgrund der
experimentellen Primärstrahldivergenz, der endlichen Detektorakzeptanz und der Wellenlängenverteilung
über ein bestimmtes Gebiet - das Auflösungselement - im reziproken Raum integriert
wird. Dabei hängen Größe und Form dieses Gebietes stark von den experimentellen Gegebenheiten
ab. In Kap. 6.2.1 wird im Zusammenhang mit der Untersuchung von Korrelationseffekten
an selbstorganisierten SiGe Inseln ein sehr anschauliches Beispiel angeführt, inwiefern die Integration
innerhalb des Auflösungselementes zu scheinbar widersprüchlichen Resultaten führen kann.
10 Genau genommen besitzt Q bei der Untersuchung diffuser Streuung in der Nähe symmetrischer Reflexe auch eine (kleine) Lateralkomponente.
Im Vergleich zum vertikalen Impulsübertrag beträgt diese bei den hier untersuchten Reflexen allerdings nur etwa 1%,
siehe beispielsweise die Intensitätsverteilung in der Nähe des 004 Reflexes in Ab b. 6-4.
11 engl.: Grazing Incidence Small Angle X-Ray Scattering ⇒ GISAXS
12 engl.: Grazing Incidence Diffraction ⇒ GID Obwohl es sich bei GID im Grunde um eine spezielle Form hochaufgelöster
Weitwinkelbeugung handelt, hat sich dafür kein Terminus eingebürgert, der diesen Umstand berücksichtigt.