Streuung von Röntgenstrahlen an selbstorganisierten Halbleiter ...

2.4 Phänomenologische Aspekte des Stranski-Krastanow Modus 25
Kanten (K) erkennt, die aus kleinen {111} Flächen bestehen. In Kap. 6.1 finden sich bei der
Untersuchung kleinerer germaniumreicherer Inseln Indizien, die auf ein Einspringen der Seitenkanten
in dieser Form hindeuten.
2.4.2 Spannungsinduzierte Entstehung von Insel-Insel-Korrelation
Insel-Insel-Korrelationen mit 〈100〉 Vorzugsrichtungen bilden sich auch für Ge-Konzentrationen
größer 15% heraus, deren unterschiedliche Erscheinungsformen in Kap. 6.3 ausführlich diskutiert
werden. In diesem Kapitel soll die Entstehung von Überstrukturen in Form von Ketten im
Vordergrund stehen. Für das angesprochene Konzentrationsfenster größer 15% konnte ein
morphologischer Übergang von Rippling hin zu Inseln, wie zuvor beschrieben, nicht beobachtet
werden. Dafür lassen sich mehrere Gründe anführen: zum einen erfolgt das Wachstum bei höheren
Ge-Konzentrationen mit einer viel höheren Geschwindigkeit, die eine zeitaufgelöste Untersuchung
der Inselentstehung unmöglich macht. Andererseits besitzt das unterlegte Ripplemuster, wenn
überhaupt vorhanden, nur eine sehr geringe Amplitude. Dennoch findet man Inselensembles mit
einem bemerkenswert hohen Grad an Insel-Insel-Korrelation auch für Ge-Gehalte von 30% bis
40%. Abweichend von dem in Kap. 2.4.1 beschriebenen Übergang einer Oberflächenverwellung zu
einem Inselmuster wird in diesem Kapitel ein Mechanismus vorgestellt, der eine andere Entstehung
der Inselketten entlang 〈100〉 nahelegt.
In Abb. 2-12 sind vier Oberflächenmorphologien der Probe 97/1072 mit einem mittleren Ge-
Gehalt von 30% abgebildet, die sich infolge unterschiedlicher Wachstumszeiten in ihrem Bedeckungsgrad
um mehr als den Faktor 4 bei gleicher Inselgröße und -form unterscheiden. Der linke
Bereich von Teilbild A ist unbewachsen. Auf ihm erkennt man, wie auch in den anderen Bereichen,
Fe-Silizid Partikel (Z), die die Probe nachträglich verunreinigten. Ihm schließt sich ein Gebiet (A)
mit einer mittleren Bedeckung von 2.6 Inseln/µm 2 an, in dem ein Mechanismus dafür sorgt, dass
fast die Hälfte aller Inseln sich in sogenannten Dimeren oder Trimeren anordnet. Dies sind
Verbände von Inseln, die in unserem Fall immer eine Vorzugsrichtung entlang 〈100〉 also entlang
der Inseldiagonalen aufweisen.
Bei einer gleichverteilten Positionierung würde man entweder nur Solitärinseln, die sich nicht einer
Kette zuordnen ließen, oder zumindest eine isotrope Anordnung erwarten. Es ist offensichtlich so,
dass eine bereits bestehende Insel bestimmte Plätze in ihrer Umgebung für eine zweite Insel
favorisiert. Dabei kommt dem Substrat und der Benetzungsschicht in diesem Prozeß insofern eine
vermittelnde Funktion zu, als dass durch sie hinweg in der Umgebung einer Insel entlang der
weichen 〈100〉 Richtung Bedingungen geschaffen werden, die die Bildung neuer Inseln fördern und
entlang 〈110〉 nahezu ausschließen, wie man aus dem Fehlen von Insel-Insel-Paaren entlang 〈110〉
folgern kann.